[发明专利]石英卡夹装置及其制作方法与带该石英卡夹装置的OLED高温炉有效

专利信息
申请号: 201310739765.2 申请日: 2013-12-27
公开(公告)号: CN103743239A 公开(公告)日: 2014-04-23
发明(设计)人: 余威 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: F27B17/00 分类号: F27B17/00;H01L51/56
代理公司: 深圳市德力知识产权代理事务所 44265 代理人: 林才桂
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 石英 装置 及其 制作方法 oled 高温
【说明书】:

技术领域

发明涉及平面显示领域,尤其涉及一种石英卡夹装置及其制作方法与带该石英卡夹装置的OLED高温炉。

背景技术

平面显示装置具有机身薄、省电、无辐射等众多优点,得到了广泛的应用。现有的平面显示装置主要包括液晶显示装置(LCD,Liquid Crystal Display)及有机发光显示装置(OLED,Organic Light Emitting Display)。

有机发光显示装置具备自发光、高亮度、宽视角、高对比度、可挠曲、低能耗等特性,因此受到广泛的关注,并作为新一代的显示方式,已开始逐渐取代传统液晶显示装置,被广泛应用于手机屏幕、电脑显示器、全彩电视等电子产品上。OLED显示技术与传统的LCD显示方式不同,无需背光灯,采用非常薄的有机材料涂层和玻璃基板,当有电流通过时,这些有机材料就会发光。但是由于有机材料对大气中的水汽和氧气很敏感,容易因水氧发生老化变性,亮度和寿命会出现明显衰减,因此作为基于有机材料的显示设备,OLED器件对封装的要求非常高,在OLED封装制程中,好的封装效果对OLED器件的寿命起着至关重要的作用。

在液晶显示装置中常用的UV胶抗水氧穿透能力不够,所以OLED封装一般选择使用玻璃胶。玻璃胶主要由有机溶剂和玻璃粉组成。在OLED封装时,用有机溶剂把玻璃粉混成可涂布的膏状,然后涂布在OLED封装盖板上,再放入OLED高温炉中烘烤使有机溶剂挥发,玻璃粉之间发生一些聚合反应变成固体,再将带有固体玻璃胶的封装盖板与制作有OLED器件的基板对组,然后通过激光镭射(laser)使玻璃胶融化,最后使玻璃胶凝固即完成两片玻璃的封装。

用于玻璃胶烘烤的OLED高温炉通常温度很高,需500~600℃,制程时间长,所以需将多片封装基板同时放入OLED高温炉烘烤以节省每片基板的制程时间,因而,可采用在OLED高温炉中制作石英卡夹装置的方式来满足多片基板同时高温加热的需求。

请参阅图1,为现有的石英卡夹装置,该石英卡夹装置包括数层石英卡板100、石英底板200以及数根石英柱400。石英卡板100用于放置基板,以实现在OLED高温炉内同时高温加热多片基板。石英底板200的作用是辅助固定石英柱400,避免石英柱400倾斜过大,同时阻隔石英底板200上部的制程与其下部的制程之间的热量流动,保证石英卡板100上各片基板间温度的均一性。

但将整体组装完成的石英卡夹装置推入OLED高温炉中时,易发生轻微晃动,如图2及图3所示,石英柱400出现轻微倾斜,与石英底板200发生部分点位500的强力接触,使石英底板200底板产生小的裂纹600,在生产过程中重复升温降温使裂纹600增大,进而导致石英底板200破裂。

发明内容

本发明的目的在于提供一种石英卡夹装置,其结构简单,根据三角公式将石英底板圆孔的直径扩大,避免了石英底板因触碰产生裂纹而破裂,避免设备损坏影响生产,同时使石英底板圆孔的直径不至于过大进而避免石英底板上部制程部的温度不均。

本发明的另一目的在于提供一种石英卡夹装置的制作方法,该方法简单,根据三角公式将石英底板圆孔的直径扩大,避免了石英底板因触碰产生裂纹而破裂,避免设备损坏影响生产,同时使石英底板圆孔的直径不至于过大进而避免石英底板上部制程部的温度不均。

本发明的另一目的在于提供一种OLED高温炉,其结构简单,根据三角公式将石英底板圆孔的直径扩大,避免了OLED高温炉内的石英卡夹装置的石英底板因触碰产生裂纹而破裂,避免设备损坏影响生产,同时使石英底板圆孔的直径不至于过大进而避免石英底板上部制程部的温度不均。

为实现上述目的,本发明提供一种石英卡夹装置,包括:一底座、固定安装于底座上的数根石英柱、位于底座上方的石英底板及位于石英底板上方且卡夹于石英柱上的数层石英卡板;所述石英底板上对应石英柱设有数个圆孔,该圆孔的直径大于所述石英柱的直径,所述石英柱穿过所述圆孔并在圆孔下方设有紧固部件,进而使石英底板支撑于所述石英柱上。

所述底座上对应石英柱设有数个固定部,所述石英柱固定安装于该固定部上。

所述石英底板包括下底板和上底板,所述下底板与上底板一体成型制成,所述圆孔为贯穿于上、下底板的通孔;所述下底板抵靠于所述紧固部件上。

所述圆孔直径公式为:D=d+2h*arctan(α),其中,d为石英柱的直径,h为石英底板的上底板距离底座的高度,α为石英柱固定于固定部上后的最大倾斜角度。

本发明还提供一种石英卡夹装置的制作方法,包括:

步骤1:提供一底座;

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