[发明专利]接合装置及薄膜状基板保持单元有效
申请号: | 201310741059.1 | 申请日: | 2013-12-27 |
公开(公告)号: | CN104051290B | 公开(公告)日: | 2018-03-09 |
发明(设计)人: | 龟田明;浜田隆二;山田真五;味村好裕 | 申请(专利权)人: | 松下知识产权经营株式会社 |
主分类号: | H01L21/603 | 分类号: | H01L21/603;H01L21/67 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所11105 | 代理人: | 刘晓迪 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 接合 装置 薄膜状 保持 单元 | ||
技术领域
本发明涉及将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上的接合装置及在该接合装置中使用的薄膜状基板保持单元。
背景技术
目前,作为将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上的接合装置,已知有具备将压接工具和保持薄膜状基板的吸附部一体设置的压接头的构成。在该接合装置中,通过压接工具吸附形成有外部连接用端子组的线部分,通过多个吸附部吸附从边缘部分延伸的部分以保持薄膜状基板。由于多个吸附部配置在与薄膜状基板的形状相应的位置,故而即使是复杂形状的薄膜状基板也能够可靠地进行吸附(例如,专利文献1)。
专利文献1:(日本)特开2000-77898号公报
但是,在专利文献1记载的接合装置中,匹配压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状而准备了专用的压接头。因此,每当薄膜状基板的形状改变时就必须更换整个压接头。另外,压接头的更换作业需要平行度的调整及吸附部的位置调整等多个工序,存在必须使接合装置的工作长时间停止的问题。
发明内容
因此,本发明的目的在于提供一种能够简单且迅速应对压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状改变的情况的接合装置。
另外,本发明的目的在于提供一种可与各种形状的薄膜状基板对应的薄膜状基板保持单元。
本发明的接合装置将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上,其中,具备:压接头,其具有将所述薄膜状基板的所述外部连接用端子组压接在所述基板上的压接工具及使所述压接工具升降的压接工具升降装置;薄膜状基板保持单元,其在所述外部连接用端子组位于所述压接工具的下方的状态下保持所述薄膜状基板,所述薄膜状基板保持单元具备多个配置在与所述薄膜状基板的形状对应的位置的吸附部,且拆装自如地安装在所述压接头。
另外,本发明的薄膜状基板保持单元,在具备将在边缘部分形成有外部连接用端子组的薄膜状基板压接在基板上的压接头的接合装置中,保持所述薄膜状基板,其中,具备:基座部,其安装在所述压接头具备的安装部;多个臂,其将一端部设于所述基座部,在另一端部具有吸附所述薄膜状基板的吸附部,所述多个臂的至少一个,其所述一端部通过轴部件相对于所述基座部转动自如地安装,在设于所述一端部与所述另一端部之间的关节部自如弯曲。
在本发明中,设置压接头、和具备配置在与薄膜状基板的形状对应的位置的多个吸附部的薄膜状基板保持单元,将薄膜状基板保持单元拆装自如地安装在压接头上,因此,在压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状改变的情况下,仅在压接头安装与变更后的薄膜状基板的形状对应的薄膜状保持单元就能够简单且迅速应对。
另外,在本发明中,薄膜状基板保持单元具备的多个臂中的至少一个相对于基座部自如转动且自如弯曲,能够使相对于该基座部转动自如且在关节部弯曲自如的臂的吸附部向任意位置移动而使多个吸附部的位置与薄膜状基板的形状相应,因此,即使在压接在基板上的对象的薄膜状基板的形状改变的情况下也能够同样使用薄膜状基板保持单元。
附图说明
图1是本发明一实施方式中的接合装置的主要部分侧面图;
图2是表示本发明一实施方式中的接合装置具备的压接头和薄膜状基板保持单元的立体图;
图3是表示本发明一实施方式中的压接头和薄膜状基板保持单元的局部分解立体图;
图4(a)、(b)是表示本发明一实施方式中的压接头和薄膜状基板保持单元的侧面图;
图5是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元的立体图;
图6是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元的局部剖面正面图;
图7(a)、(b)、(c)是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元具备的自由臂的部分剖面图;
图8是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元具备的自由臂的部分剖面图;
图9(a)、(b)、(c)、(d)是本发明一实施方式中的薄膜状基板保持单元的平面图;
图10是表示本发明一实施方式中的接合装置的控制系统的框图;
图11(a)、(b)是说明通过本发明一实施方式中的接合装置将薄膜状基板压接在基板上的顺序的图;
图12(a)、(b)是说明通过本发明一实施方式中的接合装置将薄膜状基板压接在基板上的顺序的图。
标记说明
1:接合装置
2:基板
3:薄膜状基板
3a:外部连接用端子组
13:压接头
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