[发明专利]非易失性存储装置有效
申请号: | 201310741526.0 | 申请日: | 2013-12-27 |
公开(公告)号: | CN104282709B | 公开(公告)日: | 2017-06-16 |
发明(设计)人: | 菅野裕士;峰村洋一;冢本隆之;大川隆圣;吉田敦;田端英之 | 申请(专利权)人: | 株式会社东芝 |
主分类号: | H01L27/24 | 分类号: | H01L27/24;G11C13/00 |
代理公司: | 北京市中咨律师事务所11247 | 代理人: | 陈海红,段承恩 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 非易失性 存储 装置 | ||
1.一种非易失性存储装置,其特征在于,具备:
第1布线,在第1方向延伸;
第2布线,在与上述第1方向正交的第2方向延伸,与上述第1布线电连接;
多个第3布线,在与上述第1方向交叉且与上述第2方向正交的第3方向分别延伸,在上述第2布线的两侧,沿着上述第2方向并排设置;
第1存储层,设置在上述多个第3布线中隔着上述第2布线相向的2个第3布线的一方和上述第2布线之间;
第2存储层,设置在上述2个第3布线的另一方和上述第2布线之间,
上述第2布线在与上述第1存储层连接的第1部分和与上述第2存储层连接的第2部分之间具有块部。
2.权利要求1所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述块部包含上述第1部分和上述第2部分连接的界面。
3.权利要求2所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述第1部分及上述第2部分包含半导体材料,
上述界面是半导体晶体的不连续面。
4.权利要求2所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述块部在上述界面包含载流子陷阱。
5.权利要求1所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述第1部分及上述第2部分包含第1金属,
上述块部包含功函数比上述第1金属小的第2金属。
6.权利要求5所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述第1金属是氮化钽(TaN),
上述第2金属是钨(W)。
7.权利要求1所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述第2布线包含半导体,
上述块部的杂质浓度比上述第1部分及上述第2部分低。
8.权利要求7所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述第2布线包含多晶硅。
9.权利要求1所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述第1部分及上述第2部分包含第1半导体,
上述块部包含带隙比上述第1半导体宽的第2半导体。
10.权利要求1所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述第1存储层及上述第2存储层包含在第1状态和比上述第1状态低阻抗的第2状态之间可逆地迁移的阻抗变化材料。
11.权利要求1所述的非易失性存储装置,其特征在于,
还具备在上述第1方向并排设置的多个第2布线,
上述2个第3布线的一方具有:在上述第1方向并排设置的上述第2布线间沿着上述第3方向延伸的多个第1延伸部;电收束上述多个第1延伸部的第1共用部,
上述2个第3布线的另一方具有:上述多个第2布线间沿着上述第3方向延伸的多个第2延伸部;电收束上述多个第2延伸部的第2共用部,
在各个的上述第2布线的两侧,设置上述多个第1延伸部的一个和上述多个第2延伸部的一个,
上述多个第1延伸部的一个和上述多个第2延伸部的一个隔着上述第2布线相向。
12.权利要求1所述的非易失性存储装置,其特征在于,
还具备在上述第2方向层叠的多个第3布线,
上述块部沿着上述第2方向在上述第2布线中延伸,
上述第1布线侧的上述块部的端和上述第1布线侧的上述第2布线的端的间隔,比在上述第2方向层叠的上述第3布线中最接近上述第1布线的第3布线和上述第2布线的上述端的间隔窄。
13.权利要求12所述的非易失性存储装置,其特征在于,
在上述第2方向层叠的上述第3布线中最接近上述第1布线的第3布线的底面和上述第2布线的上述端的间隔,比在上述第2方向层叠的第3布线中的上述第2方向相邻的2个第3布线的间隔宽。
14.权利要求1所述的非易失性存储装置,其特征在于,
上述第1存储层在与上述第2布线连接的部分具有第1整流层,
上述第2存储层在与上述第2布线连接的部分具有第2整流层。
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