[发明专利]布线形成装置、维护方法以及布线形成方法

权利要求书

1.一种布线形成装置，具有：雾化装置，其使糊剂材料雾化；喷嘴，其喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料；以及连通管，其将上述雾化装置与上述喷嘴连接，该布线形成装置通过涂布雾化后的上述糊剂材料来进行布线形成，该布线形成装置的特征在于，具有：

第一气体供给部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧，向上述连通管内供给第一维护气体；

吸引部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的某一方，对上述连通管内进行吸引；以及

第二气体供给部，其设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的、未设置上述吸引部的连接部侧，向上述连通管内供给第二维护气体。

2.根据权利要求1所述的布线形成装置，其特征在于，

上述吸引部设置于上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧，上述第二气体供给部设置于上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧。

3.根据权利要求1或2所述的布线形成装置，其特征在于，

上述第一维护气体是惰性气体。

4.根据权利要求1或2所述的布线形成装置，其特征在于，

上述第二维护气体是空气。

5.根据权利要求1或2所述的布线形成装置，其特征在于，

还具有控制部，该控制部分别对上述第一气体供给部的上述第一维护气体的供给、上述吸引部的吸引以及上述第二气体供给部的上述第二维护气体的供给进行控制，上述控制部以如下方式进行控制：使上述吸引与上述第二维护气体的供给同时进行，使上述第一维护气体的供给、上述第二维护气体的供给以及上述吸引分别在上述布线形成的空闲时间进行。

6.根据权利要求5所述的布线形成装置，其特征在于，

上述控制部进行控制使得在进行了上述吸引以及上述第二维护气体的供给之后在上述布线形成之前进行上述第一维护气体的供给。

7.根据权利要求6所述的布线形成装置，其特征在于，

上述控制部进行控制使得在进行了上述吸引以及上述第二维护气体的供给之后在进行上述第一维护气体的供给之前进行用于使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的涂布。

8.根据权利要求5所述的布线形成装置，其特征在于，

上述控制部进行控制使得在进行了上述第一维护气体的供给之后在上述布线形成之前进行用于使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的涂布。

9.一种布线形成装置的维护方法，该布线形成装置具有：雾化装置，其使糊剂材料雾化；喷嘴，其喷射由上述雾化装置雾化后的上述糊剂材料；以及连通管，其将上述雾化装置与上述喷嘴连接，该布线形成装置构成为通过涂布雾化后的上述糊剂材料来进行布线形成，该布线形成装置的维护方法的特征在于，

在上述布线形成的空闲时间具有以下工序：

第一气体供给工序，从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧向上述连通管内供给第一维护气体；以及

第二气体供给工序，从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧和上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧中的某一方对上述连通管内进行吸引，并且从另一方向上述连通管内供给第二维护气体。

10.根据权利要求9所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，

上述第二气体供给工序的上述吸引是从上述连通管的与上述雾化装置的连接部侧进行，上述第二维护气体的供给是从上述连通管的与上述喷嘴的连接部侧进行。

11.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，

上述第一维护气体是惰性气体。

12.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，

上述第二维护气体是空气。

13.根据权利要求9或10所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，

在上述第二气体供给工序之后在上述布线形成之前设置有上述第一气体供给工序。

14.根据权利要求13所述的布线形成装置的维护方法，其特征在于，

在上述第二气体供给工序之后在上述第一气体供给工序之前设置有使雾化后的上述糊剂材料的涂布稳定化的稳定化工序。