[发明专利]布线形成装置、维护方法以及布线形成方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种布线形成装置、维护方法以及布线形成方法。更详细地说，涉及一种可形成精细图案且能够用于对形成在液晶显示器等平板显示器的基板上的布线等进行修复的布线形成装置、该布线形成装置的维护方法以及布线形成方法。

背景技术

近年来，随着液晶显示器、等离子显示器以及有机EL显示器等平板显示器的大型化和高清晰化，推进了形成在半导体基板等基板上的布线、电极等的图案的精细化。而且，随着图案的精细化，在布线等、等离子显示器的障肋等中产生的缺陷成为问题。作为这样的缺陷，例如在是布线的情况下，存在图案的一部分发生缺失、断线的开路缺陷等。因此，寻求能够抑制这种缺陷的产生来提高制造成品率的电极、布线等的形成技术的提高。同时寻求能够在产生了缺陷的情况下对其进行修复的修复技术。

作为对开路缺陷等进行修复的修复技术，已知有如下一种方法(例如，参照专利文献1。)：对基板上的布线发生断线的缺陷部分涂布附着于涂布针前端的导电性糊剂，在使涂布位置在电极的长度方向上移动的同时多次涂布来进行修复。

另外，已知有在基板上进行布线图案的形成等的喷雾方式的开路修复装置等布线形成装置(例如，参照专利文献2。)。

专利文献1：日本特开2000-299059号公报

专利文献2：日本特开2007-152219号公报

发明内容

发明要解决的问题

但是，在如专利文献1所记载的修复方法中，由于使涂布针多次往复于布线的缺陷部分与糊剂槽之间来一边对涂布针补充导电性糊剂一边进行涂布，因此导致缺陷部分越长则修复所花费的时间越长。另外，由于导电性糊剂被涂布成将圆形的涂布部配置成一列所形成的形状，因此形成从布线的宽度溢出的部分等难以将修复部分控制成期望的形状。

因此，在基板上进行布线图案的形成等的喷雾方式的开路修复装置等布线形成装置受到了关注。

喷雾方式的布线形成装置例如构成为具有将布线形成用的糊剂材料雾化成雾状的雾化装置、向基板上的缺陷部分喷射由雾化装置雾化后的糊剂材料的喷嘴以及将雾化装置与喷嘴连接的连通管，使用雾化后的糊剂材料来进行布线图案的形成以修复基板上的缺陷部分。

在这样的喷雾方式的布线形成装置中，能够一边补充糊剂材料一边进行喷射，因此与涂布针多次往复于基板上的缺陷部分与糊剂槽之间的专利文献1等所记载的修复方法相比，能够迅速地修复缺陷部分。

然而，在以往的喷雾方式的布线形成装置中，存在如下情况：在将雾化装置与喷嘴连接的连通管内附着有糊剂材料的雾，蓄积在连通管内的雾变为结露而流向喷嘴。其结果，在以往的喷雾方式的布线形成装置中，存在喷嘴的喷射变得不稳定、连通管内的结露流动而堵塞涂布喷嘴的情形等。

当喷嘴的喷射变得不稳定时，无法稳定地形成布线图案。并且，当喷嘴堵塞时，无法形成布线图案。因此，在以往的喷雾方式的布线形成装置中，需要频繁地更换连通管以抑制如上所述的结露和其流向喷嘴的情形。其结果，存在布线形成装置的工作时间变短而使生产性下降的情形。

因此，寻求如下一种布线形成技术：能够控制将雾化装置与喷嘴之间连接的连通管内的结露，并抑制结露流向喷嘴，从而稳定地形成布线图案。

本发明是鉴于这样的问题而完成的。

即，本发明的目的在于提供一种能够稳定地形成布线图案的布线形成装置。

另外，本发明的目的在于提供一种对布线形成装置进行维护以能够稳定地形成布线图案的维护方法。

另外，本发明的目的在于提供一种能够稳定地形成布线图案的布线形成方法。

将从下面的记载中清楚本发明的其它目的和优点。

用于解决问题的方案

本发明的第一方式涉及一种布线形成装置，具有：雾化装置，其使糊剂材料雾化；喷嘴，其喷射由该雾化装置雾化后的糊剂材料；以及连通管，其将该雾化装置与该喷嘴连接，其中，通过涂布雾化后的糊剂材料来进行布线形成，该布线形成装置的特征在于，具有：

第一气体供给部，其设置于连通管的与雾化装置的连接部侧，向该连通管内供给第一维护气体；

吸引部，其设置于连通管的与雾化装置的连接部侧和连通管的与喷嘴的连接部侧中的某一方，对该连通管内进行吸引；以及

第二气体供给部，其设置于连通管的与雾化装置的连接部侧和连通管的与喷嘴的连接部侧中的、未设置吸引部的连接部侧，向该连通管内供给第二维护气体。