[发明专利]一种有机电致发光显示器件、其制备方法及显示装置

说明书

技术领域

本发明涉及显示技术领域，尤其涉及一种有机电致发光显示器件、其制备方法及显示装置。

背景技术

目前，有机电致发光显示器件（Organic Electroluminesecent Display，OLED）与传统的液晶显示器件（Liquid Crystal Display，LCD）相比，由于具有响应快、色域广、超薄、能实现柔性化等特点，已经逐渐成为显示领域的主流。

OLED器件一般包括薄膜晶体管阵列基板和有机电致发光结构；其中，薄膜晶体管一般包括栅电极、有源层、源电极以及漏电极，有机电致发光结构一般包括阳极、发光层和阴极。具体地，以底发射型的OLED器件为例，其结构如图1所示，包括衬底基板1，依次位于衬底基板1上的栅电极2、栅极绝缘层3、有源层4、刻蚀阻挡层5、源电极6、漏电极7、绝缘层8、彩色滤光片9、阳极10、像素界定层11、发光层12以及阴极13。

上述结构的OLED器件在制备时，需要使用掩膜板（Mask）进行构图的部件至少包括：制备栅电极的图形，有源层的图形、刻蚀阻挡层的图形、源电极和漏电极的图形，绝缘层的图形，彩色滤光片的图形，阳极的图形以及像素界定层的图形。其中，由于彩色滤光片一般是由三原色（红，绿，蓝）交叉排列的单色滤光片组成的，因此彩色滤光片的图形需要分别使用3道Mask构图进行构图。

综上，现有的OLED器件，在制作时需要使用多道Mask构图进行构图，因此，现有OLED器件的制作过程存在制备工艺复杂，制造流程繁多，成本高，耗时长等问题。

发明内容

本发明实施例提供了一种有机电致发光显示器件、其制备方法及显示装置，用以简化OLED器件的制备工艺，降低制作成本和缩短生产时间。

本发明实施例提供的一种有机电致发光显示器件，包括衬底基板，以及位于所述衬底基板上的薄膜晶体管和有机电致发光结构；其中，所述薄膜晶体管包括相互绝缘的栅电极和有源层，以及与所述有源层分别电性连接的源电极和漏电极；所述有机电致发光结构包括依次层叠设置的阳极、发光层和阴极，所述阳极与所述漏电极电性连接；

所述阳极与所述有源层同层设置，所述有源层的材料为透明氧化物半导体材料，所述阳极的材料为所述透明氧化物半导体材料经过等离子体处理后的材料。

本发明实施例提供的上述有机电致发光器件，由于在该OLED器件中，有源层的材料采用透明氧化物半导体材料，对氧化物半导体材料进行等离子体处理可以提高氧化物半导体材料中载流子的浓度，因此可以采用制备有源层的氧化物半导体材料来制备阳极，从而将阳极与有源层同层设置，这样在制备OLED器件时，就不需要增加新的制备阳极的构图工艺，仅需变更对应的膜层的构图即可实现有源层和阳极同时制备，从而可以简化工艺步骤，节省生产成本，提高生产效率，缩短生产时间。

较佳地，为了便于实施，在本发明实施例提供的上述有机电致发光显示器件中，在所述薄膜晶体管中：所述有源层位于所述栅电极的上方；在所述有源层和所述栅电极之间还设置有栅极绝缘层；

所述源电极和所述漏电极均位于所述有源层的上方。

或者，较佳地，为了便于实施，在本发明实施例提供的上述有机电致发光显示器件中，在所述薄膜晶体管中：

所述栅电极位于所述有源层的上方；在所述有源层和所述栅电极之间还设置有栅极绝缘层；

所述源电极和所述漏电极均位于所述有源层与所述衬底基板之间。

或者，较佳地，为了便于实施，在本发明实施例提供的上述有机电致发光显示器件中，在所述薄膜晶体管中：

所述栅电极位于所述有源层的上方；在所述有源层和所述栅电极之间还设置有栅极绝缘层；

所述源电极和所述漏电极均位于所述栅电极的上方，且所述源电极和所述漏电极通过过孔与所述有源层连接。

较佳地，为了便于实施，在本发明实施例提供的上述有机电致发光显示器件中，所述有机电致发光结构中的发光层发白光，所述显示器件还包括：彩色滤光片，所述彩色滤光片位于所述有机电致发光结构的上方，或位于所述栅极绝缘层与所述有机电致发光结构之间。

较佳地，为了便于实施，在本发明实施例提供的上述有机电致发光显示器件中，所述有机电致发光结构中的发光层发白光，所述显示器件还包括：彩色滤光片，所述彩色滤光片位于所述有机电致发光结构之上，或位于所述有机电致发光结构之下。