[发明专利]一种高密度、大尺寸、高均匀性钼钛合金靶材的制备方法

权利要求书

1.一种高密度、大尺寸、高均匀性钼钛合金靶材的制备方法，包括如下步骤，

（1）向Mo粉与Ti粉内加入溶剂和粘结剂后磨制成浆料；

（2）用喷雾机对所述浆料进行喷雾造粒，所述喷雾机的进口温度为250-300℃，所述喷雾机的喷头转速为8000-12000rpm，得到Mo-Ti复合粉；

（3）将所述Mo-Ti复合粉压制成尺寸规整的坯料，将多个所述坯料装入热等静压用包套内，向相邻所述坯料间的缝隙内填充入粒径为50-250μm的所述Mo-Ti复合粉形成厚度均匀的Mo-Ti复合粉层，所述Mo-Ti复合粉层的厚度为0.5-1mm，同时保证任意一侧包套内壁与相邻坯料外壁间的间隙小于或等于0.5mm；

（4）将包套焊接、脱气后进行热等静压处理，处理条件为750-900℃、120-160MPa，保温保压时间为4-6h，之后去除包套即可。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述浆料中固形物的粒径为2μm-40μm。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述Mo粉和Ti粉的摩尔比为（40-60）:（60-40），所述粘结剂的重量为所述Mo粉和Ti粉重量和的1-3%，加入的溶剂重量占所述浆料总重的30-60%；所述Mo粉的纯度大于99.95wt%，所述Ti粉的纯度大于99.8wt%。

4.根据权利要求1-3任一所述的制备方法，其特征在于，所述溶剂为乙醇或己烷；所述粘结剂为聚乙二醇或石蜡。

5.根据权利要求1-4任一所述的制备方法，其特征在于，在将多个所述坯料装入热等静压用包套之前，先对坯料进行真空热处理，处理程序为先在1×10^-3Pa真空度、400-500℃下处理1-2h，再在1×10^-3Pa真空度、800-1000℃下处理1h。

6.根据权利要求1-5任一所述的制备方法，其特征在于，采用滚筒式球磨机磨制所述浆料，球磨时间不少于24h。

7.根据权利要求1-6任一所述的制备方法，其特征在于，采用闭式循环喷雾干燥机对所述浆料喷雾造粒。

8.根据权利要求1-7任一所述的制备方法，其特征在于，将步骤（2）制备得到的所述Mo-Ti复合粉充氮保存备用。

9.根据权利要求1-8任一所述的制备方法，其特征在于，步骤（3）中，先用冷等静压法将所述Mo-Ti复合粉压制成压坯，再将所述压坯加工整形成坯料，其中，冷等静压的压力为100-200MPa。

10.根据权利要求1-9任一所述的制备方法，其特征在于，脱气步骤的温度为400-600℃，真空度为1×10^-3Pa。