[发明专利]晶圆级封装方法有效

专利信息
申请号: 201310746188.X 申请日: 2013-12-30
公开(公告)号: CN103745934A 公开(公告)日: 2014-04-23
发明(设计)人: 蒋珂玮 申请(专利权)人: 格科微电子(上海)有限公司
主分类号: H01L21/50 分类号: H01L21/50;G06F19/00
代理公司: 北京戈程知识产权代理有限公司 11314 代理人: 程伟;王刚
地址: 201203 上海市*** 国省代码: 上海;31
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 晶圆级 封装 方法
【权利要求书】:

1.一种晶圆级封装方法,所述封装方法包括:

A)提供分类为至少两种类别的多个晶圆,每一类别的多个晶圆均具有包含至少一晶圆的多个样品;

B)针对每个类别的样品分别进行芯片探测测试,分别获取样品的晶圆图;

C)结合晶圆图,并比对预设的失效划分阀值,区别显示有效芯片单元和无效芯片单元;

D)对不同类别的样品进行封装前的组合匹配,获取有效芯片单元结合的最优配对方式;

E)按照所述的最优配对方式对不同类别的晶圆进行晶圆级封装。

2.根据权利要求1所述的晶圆级封装方法,其特征在于:所述的至少两种类别为A、B……Φ,所述类别的数量为N,其中N≧2;

所述的A类别中样品A1,A2,…,An对应的无效芯片单元数量为a1,a2,…,an,其中a1至an均为大于或者等于0的整数;所述的B类别中样品B1,B2,…,Bn对应的无效芯片单元数量为b1,b2,…,bn,其中b1至bn均为大于或者等于0的整数。

3.根据权利要求1所述的晶圆级封装方法,其特征在于:所述步骤D)中,组合匹配后形成多个配对组,每个配对组的无效芯片单元数量分别为c1,c2,…,cn,其中,c1至cn均为大于或者等于0的整数,所述各配对组的配对封装良率分别为Y1,Y2,…,Yn,每一个配对组的封装良率Yn和总体封装良率Ya由以下公式计算得出:

Yn=(Na-cn)/Na*100%;

Ya=(Y1+Y2+……+Yn)/n*100%;

其中,Na为每一个配对组中的封装芯片数量,n为配对组的数量;

所述步骤D)的最优配对方式为:使得所述总体封装良率Ya达到最大的配对方式。

4.根据权利要求1所述的晶圆级封装方法,其特征在于:所述步骤E)中,还包括:将所述类别中样品针对另一类别中的样品对应旋转180度后,将所述一类别中的样品的正面和另一类别中样品正面进行粘合封装。

5.根据权利要求1所述的晶圆级封装方法,其特征在于:所述步骤E)中,还包括:直接将所述一类别中的样品的正面和另一类别中的样品反面进行粘合封装。

6.根据权利要求1所述的晶圆级封装方法,其特征在于:所述一类别中的样品和另一类别中的样品由至少一个晶圆组成。

7.根据权利要求1所述的晶圆级封装方法,其特征在于:所述失效划分阀值中包括:将所述芯片划分为两个等级:失效芯片和未失效芯片。

8.根据权利要求7所述的晶圆级封装方法,其特征在于:所述失效划分阈值能够进一步包括:将所述失效芯片划分成两个等级:第一级的直流失效等级和第二级的功能失效等级。

9.根据权利要求8所述的晶圆级封装方法,其特征在于:所述步骤D)进一步包括:首先对第一级的直流失效等级进行步骤D)中的配对过程从而获得第一级最优配对方式,再对第二级的功能失效等级进行步骤D)的配对过程从而获得第二级最优配对方式。

10.根据权利要求9所述的晶圆级封装方法,其特征在于:根据所述第一级最优配对方式按照步骤E)进行粘合封装;根据所述第二级最优配对方式按照步骤E)进行粘合封装。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于格科微电子(上海)有限公司,未经格科微电子(上海)有限公司许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310746188.X/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top