[发明专利]一种硅片切割机

权利要求书

1.一种硅片切割机，包括硅片切割钢丝，其特征为，所述的硅片切割钢丝包括两条钢丝本体，所述两条钢丝本体为相互叠合成“8”字形的一体式结构，所述的钢丝本体内设有通道，所述通道的截面形状为正六边形，所述通道内填充有硬质合金，所述钢丝本体外表面包覆一层以高锰钢为材料的保护层，所述保护层表面做磨砂处理，所述保护层内设有储液囊，所述储液囊为球形结构，所述储液囊与保护层外壁直接设有圆柱形通道，所述圆柱形通道的直径为0.05±0.01mm。

2.如权利要求1所述的一种硅片切割机，其特征为，所述的钢丝本体直径的为0.3—0.6mm，所述通道所形成的正六边形的外接圆直径为0.15-0.25mm，所述保护层厚度为0.2-0.3mm。