[发明专利]一种硅片切割机有效
申请号: | 201310746209.8 | 申请日: | 2013-12-30 |
公开(公告)号: | CN103707426A | 公开(公告)日: | 2014-04-09 |
发明(设计)人: | 聂金根 | 申请(专利权)人: | 镇江市港南电子有限公司 |
主分类号: | B28D5/04 | 分类号: | B28D5/04 |
代理公司: | 上海海颂知识产权代理事务所(普通合伙) 31258 | 代理人: | 季萍 |
地址: | 212132 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 切割机 | ||
技术领域
本发明涉及一种硅片切割机。
背景技术
目前,硅片切割机在切割硅片时是采用表明镀铜锌合金的高强度钢丝。钢丝在高速运行的状态下,粘带切割磨液,并在一定作用力的情况下,由钢丝带动的磨料与硅棒磨切,最终制成硅片。现有的切割硅片的钢丝是表面镀铜锌合金的高强度钢丝,其表面光滑,黏带切割磨液的能力差,影响切割硅片的生产效率。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对以上弊端提供一种硅片切割机,其中的硅片切割钢丝黏带切割磨液的能力有所提高,大大增加了生产效率。
为解决上述技术问题,本发明的技术方案是:
一种硅片切割机,包括硅片切割钢丝,其中,所述的硅片切割钢丝包括两条钢丝本体,所述两条钢丝本体为相互叠合成“8”字形的一体式结构,所述的钢丝本体内设有通道,所述通道的截面形状为正六边形,所述通道内填充有硬质合金,所述钢丝本体外表面包覆一层以高锰钢为材料的保护层,所述保护层表面做磨砂处理,所述保护层内设有储液囊,所述储液囊为球形结构,所述储液囊与保护层外壁直接设有圆柱形通道,所述圆柱形通道的直径为0.05±0.01mm。
上述一种硅片切割机,其中,所述的钢丝本体直径的为0.3—0.6mm,所述通道所形成的正六边形的外接圆直径为0.15-0.25mm,所述保护层厚度为0.2-0.3mm。
本发明的有益效果为:
1.钢丝本体内设有通道,通道内填充有硬质合金,大大增加了切割钢丝的硬度、强度、耐磨性和耐腐蚀性;
2.切割钢丝由两条钢丝本体为相互叠合成“8”字形的一体式结构,大大增加了切割效果和切割力度;
3.钢丝本体外表面包覆一层以高锰钢为材料的保护层,保护层表面做磨砂处理,保护层内设有储液囊,储液囊内可以储存一定量的切割磨液,既提高了对硅片的切割能力,又提高了黏带切割磨液的能力,大大提高了硅片的切割效果。
附图说明
图1为本发明硅片切割钢丝的剖视图
具体实施方式
下面对本发明进行进一步说明。
如图所示一种硅片切割机,包括硅片切割钢丝1,所述的硅片切割钢丝1包括两条钢丝本体11,所述的钢丝本体11直径d1的为0.3—0.6mm,所述两条钢丝本体11为相互叠合成“8”字形的一体式结构,所述的钢丝本体11内设有通道2,所述通道2的截面形状为正六边形,其外接圆直径d2为0.15-0.25mm,所述通道2内填充有硬质合金3,所述钢丝本体11外表面包覆一层以高锰钢为材料的保护层4,所述保护层4厚度h为0.2-0.3mm,所述保护层表面做磨砂处理5,所述保护层4内设有储液囊6,所述储液囊6为球形结构,所述储液囊与保护层外壁直接设有圆柱形通道7,所述圆柱形通道的直径d3为0.05±0.01mm。
本发明的有益效果为:
1.钢丝本体内设有通道,通道内填充有硬质合金,大大增加了切割钢丝的硬度、强度、耐磨性和耐腐蚀性;
2.切割钢丝由两条钢丝本体为相互叠合成“8”字形的一体式结构,大大增加了切割效果和切割力度;
3.钢丝本体外表面包覆一层以高锰钢为材料的保护层,保护层表面做磨砂处理,保护层内设有储液囊,储液囊内可以储存一定量的切割磨液,既提高了对硅片的切割能力,又提高了黏带切割磨液的能力,大大提高了硅片的切割效果。
这里本发明的描述和应用是说明性的,并非想将本发明的范围限制在上述实施例中,因此,本发明不受本实施例的限制,任何采用等效替换取得的技术方案均在本发明保护的范围内。
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