[发明专利]一种用于填充虚拟图案和参考图层相关性检查的版图结构

权利要求书

1.一种用于自动填充虚拟图案和参考图层相关性检查的版图结构，包括：

所有的参考图层，所述参考图层包括内部图层以及边界图层，其中所述内部图层包括所有的常规参考图层和所有的初始虚拟图案层，所述常规参考图层和所述初始虚拟图案层包围在所述边界图层之中；

其中，各内部图层窗口边长的关键尺寸为100-400um，相邻的所述内部图层之间的间距为100-400um，以使所述版图结构恰当兼容所有光罩图层的密度检查规则从而实现正确检验相关性；

自动填充虚拟图案，所述自动填充虚拟图案将会插入在所述版图结构中去检验相关性是否正确。

2.根据权利要求1所述的版图结构，其特征在于，所述初始虚拟图案层通过采用在各100-400um×100-400um图层窗口中直接手动画的方法实现，或者选取对应图层的自动虚拟图案填充来模拟代替实现。

3.根据权利要求1所述的版图结构，其特征在于，位于所述边界图层边缘内侧的内部图层和所述边界图层之间的距离为100-400um。

4.根据权利要求1所述的版图结构，其特征在于，所述初始虚拟图案层位于所述边界图层中，用于检测初始手动设计虚拟图案和自动插入虚拟图案之间的关系。

5.根据权利要求1所述的版图结构，其特征在于，所述初始虚拟图案层包括前端制程图层、内部金属层、第一顶部金属层、第二顶部金属层、超厚金属层和金属焊盘层。

6.根据权利要求1或5所述的版图结构，其特征在于，所述初始虚拟图案层中各图层窗口边长的关键尺寸为100-400um，相邻的各图层窗口之间的间距为100-400um或者所述各图层窗口与相邻的所述常规的参考图层之间的间距为100-400um。

7.根据权利要求1所述的版图结构，其特征在于，所述自动填充虚拟图案和参考图层之间相关性检查包括阻止、间距、接触、包裹、交迭、横跨、顶立、平行长度、延展的检查。

8.一种自动填充虚拟图案和参考图层之间的相关性检查的方法，包括：

步骤（a）选取权利要求1至7之一所述的版图结构作为虚拟图案-参考图层相关性检查版图；

步骤（b）根据所述相关性检查版图，使用虚拟图案的填充程式自动生成虚拟图案；

步骤（c）将步骤（b）中自动生成的所述虚拟图案插入合并到所述虚拟图案-参考图层相关性检查版图中形成整体版图；

步骤（d）对步骤（c）所述整体版图进行相关性检查，若插入的虚拟图案不符合相关性规则，则发出警报，以实现所述虚拟图案填充程式的质量合格自动检测。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述相关性检查方法内容包括对主设计规则、虚拟图案检查规则、图形密度检查规则三个规则进行检测。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述虚拟图案和参考图层之间的相关性检测包括：

检查将所述虚拟图案填充插入到所述虚拟图案-参考图层相关性检查版图之后，虚拟图案与相关性检查版图中的参考图层相关性是否符合主设计规则；

若所述虚拟图案与相关性检查版图中的参考图层相关性不符合所述主设计规则的要求，则不能通过质量保证，返回到所述虚拟图案的设计中进行修改；若符合所述主设计规则的要求，则可以通过相关性检查。

11.根据权利要8所述的方法，其特征在于，所述虚拟图案和参考图层之间的相关性检测还包括：

检查将所述虚拟图案填充插入到所述虚拟图案-参考图层相关性检查版图之后，所述虚拟图案与所述相关性检查版图中的参考图层相关性是否符合虚拟图案检查规则；

如果所述虚拟图案与相关性检查版图中的参考图层相关性不符合所述虚拟图案检查规则的要求，则返回到所述虚拟图案填充设计中进行修改；若符合所述虚拟图案检查规则的要求，则可以通过相关性检查。

12.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述虚拟图案和参考图层之间的相关性检测还包括：

检查将所述虚拟图案填充插入到所述虚拟图案-参考图层相关性检查版图形成整体版图，整体版图是否符合图形密度检查规则；

若所述整体版图的密度符合所述图形密度检查规则的需求，则可以通过相关性检查；

若与图形密度检查规则相背离，则需查看所述背离产生的原因，若所述背离是基于设计规定，则可以通过；

若所述图形密度检查规则的背离，是不期望得到的结果，则需要对所述虚拟图案的设计以及插入规则进行修改。