[发明专利]一种基座支撑结构以及腔室

权利要求书

1.一种基座支撑结构，用于支撑腔室中的基座，其特征在于，所述基座支撑结构包括底座、升降杆、轴承部件，所述底座包括上部和形成在所述上部下端面的下部，所述底座的上部的外边缘延伸超过所述底座的下部的外边缘，所述轴承部件和所述底座的下部连接，所述升降杆穿过所述轴承部件和所述底座，以和所述基座相连。

2.根据权利要求1所述的基座支撑结构，其特征在于，还包括卡盘，所述卡盘环绕所述轴承部件设置，且所述卡盘通过紧固件与所述底座的下部固定连接。

3.根据权利要求1所述的基座支撑结构，其特征在于，所述轴承部件包括轴承主体和轴承套，所述轴承主体与所述底座的下部连接，所述轴承套设置在所述轴承主体外，并通过紧固件与所述底座的下部固定连接。

4.根据权利要求3所述的基座支撑结构，其特征在于，所述底座上设置有贯穿所述底座的通孔，所述轴承主体通过所述通孔与所述底座的下部过盈连接。

5.根据权利要求3所述的基座支撑结构，其特征在于，所述轴承部件还包括弹性挡圈，所述弹性挡圈设置在所述轴承套内壁上并位于所述轴承主体下方，用于固定所述轴承主体。

6.根据权利要求1至5中任意一项所述的基座支撑结构，其特征在于，所述升降杆的顶端固定设置有上板，所述上板能够与所述基座连接。

7.根据权利要求6所述的基座支撑结构，其特征在于，所述基座支撑结构还包括波纹管，所述波纹管设置在所述升降杆外，且所述波纹管的上部与所述上板固定连接，所述波纹管的下部与所述底座的上部固定连接。

8.一种腔室，所述腔室包括腔室主体，其特征在于，所述腔室还包括权利要求1至7中任意一项所述的基座支撑结构，所述腔室主体的底壁上设置有固定孔，所述底座的下部设置在所述固定孔中，所述底座的上部支撑在所述腔室主体的底壁的上表面上。

9.根据权利要求8所述的腔室，其特征在于，所述基座支撑结构包括卡盘，所述卡盘与所述底座的下部固定连接，使所述卡盘和所述底座的下部卡合在所述固定孔中，以固定所述基座支撑结构。

10.根据权利要求8或9所述的腔室，其特征在于，所述底座的上部与所述腔室主体的底壁的上表面之间设置有密封圈。

11.根据权利要求8或9所述的腔室，其特征在于，所述底座的下部与所述固定孔侧壁的内表面之间设置有导电线圈。