[发明专利]一种基座支撑结构以及腔室

说明书

本发明提供一种基座支撑结构，用于支撑腔室中的基座，所述基座支撑结构包括底座、升降杆、轴承部件，所述底座包括上部和形成在所述上部下端面的下部，所述底座的上部的外边缘延伸超过所述底座的下部的外边缘，所述轴承部件和所述底座的下部连接，所述升降杆穿过所述轴承部件和所述底座，以和所述基座相连。相应地，本发明还提供一种腔室。本发明能够更好地保证轴承部件与底座之间的同轴度，同时，与现有技术相比，本发明中基座支撑结构的安装更加便捷，并且，本发明仅需在腔室底壁上加工一个固定孔而无需加工螺纹孔。

技术领域

本发明涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种基座支撑结构以及腔室。

背景技术

在半导体生产过程中，进行各工艺步骤的腔室中经常需要通过基座来承载晶片，同时，在特定的工艺腔室中还可以通过基座对晶片进行精确的温度控制。通常，通过一个贯穿腔室底壁的基座支撑结构对基座进行支撑，由于基座直接承载晶片，因此，支撑基座时的水平度将影响到一些工艺步骤的质量，例如，在气相沉积的工艺步骤中，如果基座的水平度不佳，则会影响到在晶片上所沉积的薄膜的均匀性。

现有的基座支撑结构如图1所示，波纹管3和波纹管底座4固定连接，波纹管底座4通过螺钉8与腔室主体底壁1固定连接，轴承6通过螺钉9固定在垫环5上，垫环5通过螺钉7固定在腔室主体底壁1的下表面上，升降杆2用于与基座连接以固定基座且升降杆2能够穿过波纹管底座4和轴承6竖直移动。

在上述现有的基座支撑结构中，由于波纹管底座和轴承分别固定在腔室底壁上，难以精确保证波纹管底座和轴承之间的同轴度，若波纹管和轴承之间的同轴度存在偏差，则会导致升降杆的竖直度存在偏差，从而会进一步影响基座的水平度，同时，升降杆的竖直度偏差容易造成与波纹管的刮擦，导致波纹管的损坏。上述基座支撑结构中，固定波纹管底座的螺钉需要在腔室内安装至腔室底壁上，而腔室内空间较小，不便于进行安装操作。此外，在半导体的制造设备中，腔室的加工较为繁琐，且加工工期较长，上述基座支撑结构需要在腔室底壁上加工多个螺纹孔，进一步增加了腔室加工的复杂度，且上述基座支撑结构安装拆卸较为不便，同时，若有螺纹孔失效，则可能导致整个腔室无法使用，需要重新加工腔室，增加了成本。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的在于提供一种基座支撑结构以及腔室，以能够较好的保证基座支撑结构中升降杆的竖直度，并且使得基座支撑结构便于安装或拆卸。

为实现上述目的，本发明提供一种基座支撑结构，用于支撑腔室中的基座，所述基座支撑结构包括底座、升降杆、轴承部件，所述底座包括上部和形成在所述上部下端面的下部，所述底座的上部的外边缘延伸超过所述底座的下部的外边缘，所述轴承部件和所述底座的下部连接，所述升降杆穿过所述轴承部件和所述底座，以和所述基座相连。

优选地，还包括卡盘，所述卡盘环绕所述轴承部件设置，且所述卡盘通过紧固件与所述底座的下部固定连接。

优选地，所述轴承部件包括轴承主体和轴承套，所述轴承主体与所述底座的下部连接，所述轴承套设置在所述轴承主体外，并通过紧固件与所述底座的下部固定连接。

优选地，所述底座上设置有贯穿所述底座的通孔，所述轴承主体通过所述通孔与所述底座的下部过盈连接。

优选地，所述轴承部件还包括弹性挡圈，所述弹性挡圈设置在所述轴承套内壁上并位于所述轴承主体下方，用于固定所述轴承主体。

优选地，所述升降杆的顶端固定设置有上板，所述上板能够与所述基座连接。

优选地，所述基座支撑结构还包括波纹管，所述波纹管设置在所述升降杆外，且所述波纹管的上部与所述上板固定连接，所述波纹管的下部与所述底座的上部固定连接。

相应地，本发明还提供一种腔室，所述腔室包括腔室主体，所述腔室还包括上述本发明所提供的基座支撑结构，所述腔室主体的底壁上设置有固定孔，所述底座的下部设置在所述固定孔中，所述底座的上部支撑在所述腔室主体的底壁的上表面上。