[发明专利]反应腔加热控制方法及装置

权利要求书

1.一种反应腔加热控制方法，其特征在于，包括以下步骤：

在反应腔底部设置至少两个温度传感器，对反应腔的温度进行检测；

根据至少两个所述温度传感器检测到的温度判断反应腔上设置的加热器断连；

当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制。

2.根据权利要求1所述的反应腔加热控制方法，其特征在于，当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制，还包括如下步骤：

以原反应腔温度控制点和新的反应腔温度控制点的温差的平均值对新的反应腔温度控制点的温度进行差值补偿。

3.根据权利要求1或2所述的反应腔加热控制方法，其特征在于，所述温度传感器为一个主温度传感器和一个辅助温度传感器；

所述在反应腔底部设置至少两个温度传感器，对反应腔的温度进行检测，包括如下步骤：

将辅助温度传感器设置在所述反应腔底部的中心位置；

将4个所述加热器分别设置在所述反应腔底部的四角位置；

将主温度传感器设置在所述反应腔底部的一角的加热器侧；

控制所述4个加热器对反应腔进行加热；

所述辅助温度传感器和主温度传感器分别对所述反应腔的相应检测点的温度进行检测。

4.根据权利要求3所述的反应腔加热控制方法，其特征在于：

所述根据至少两个所述温度传感器检测到的温度判断反应腔上设置的加热器断连，包括如下步骤：

将所述主温度传感器和辅助温度传感器检测到反应腔的温度传送至温控器；

所述温控器计算得到主温度传感器和辅助温度传感器的温差；

温控器根据所述的温差与预设温差相比较判断所述加热器断连并进行处理。

5.根据权利要求4所述的反应腔加热控制方法，其特征在于，

所述温控器根据所述的温差与预设温差相比较判断所述加热器断连并进行处理，包括以下步骤：

当主温度传感器的温度大于辅助温度传感器的温度，并且两者的温差大于预设温差的2倍时，则判断出所述主温度传感器侧的加热器未发生故障，其他三个加热器中的至少一个加热器存在故障，则发出所述其他加热器断开的第一故障报警信号；

当主温度传感器的温度小于辅助温度传感器的温度，则判断出位于所述主温度传感器侧的加热器发生故障，发出所述主温度传感器侧加热器断开的第二故障报警信号；

否则，返回重新检测。

6.根据权利要求3所述的反应腔加热控制方法，其特征在于：

所述当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制，包括如下步骤：

当主温度传感器或者辅助温度传感器作为反应腔温度控制点时，温控器根据接收到的主温度传感器或者辅助温度传感器的温度值，判断所述主温度传感器或者辅助温度传感器是否存在故障；

当判断作为反应腔温度控制点的主温度传感器或者辅助温度传感器存在故障时，则将反应腔温度控制点切换到另一个未作为反应腔温度控制点的辅助温度传感器，替代存在故障的反应腔温度控制点，作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制；

发出第三故障报警信号。

7.根据权利要求6所述的反应腔加热控制方法，其特征在于：

所述温控器根据接收到的主温度传感器或者辅助温度传感器的温度值，判断所述主温度传感器或者辅助温度传感器是否存在故障，包括如下步骤：

当未接收到作为反应腔温度控制点的主温度传感器或者辅助温度传感器的温度值，或者接收到的温度值为0时，判断所述作为反应腔温度控制点的主温度传感器或者辅助温度传感器存在故障。

8.根据权利要求3所述的反应腔加热控制方法，其特征在于：

所述主温度传感器为主热电偶或者主热电阻；

所述辅助温度传感器为辅助热电偶或者辅助热电阻。