[发明专利]反应腔加热控制方法及装置

说明书

技术领域

本发明涉及半导体领域，特别是涉及反应腔加热控制方法及装置。

背景技术

等离子体反应腔精确的温度控制对刻蚀工艺结果起到至关重要的作用，刻蚀工艺对温度非常敏感，直接影响刻蚀速率的均匀性和形貌的均匀性，而且可以减少反应室侧壁的颗粒沉积，促使挥发性的残留物及时排出反应室，可以有效延长腔室预防性维护的周期。

在刻蚀工艺中，通常对反应腔进行加热，为了控制温度的均匀性，通常进行多根加热器对反应腔不同区域进行加热。然而现有技术中反应腔的多根加热器是通过共用一个电源并联供电的，若其中一个出现断连则无法进行提示。当设置的温度过高时，加热电源负载较大，易造成线路发热老化等危险。现有的反应腔仅安装一个温度传感器，当温度传感器出现故障时，则整个加热系统都不能正常工作。

发明内容

针对现有技术中存在的问题，本发明提供了一种能够实现加热器断连报警，降低作为反应腔温度控制点的温度传感器出现故障时对整个加热控制装置的不良影响的反应腔加热控制方法及装置。

为达到技术目的，本发明实施例采用如下技术方案：

本发明提供一种反应腔加热控制方法，包括以下步骤：

一种反应腔加热控制方法，包括以下步骤：

在反应腔底部设置至少两个温度传感器，对反应腔的温度进行检测；

根据至少两个所述温度传感器检测到的温度判断反应腔上设置的加热器断连；

当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制。

作为一种可实施方式，当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制，还包括如下步骤：

以原反应腔温度控制点和新的反应腔温度控制点的温差的平均值对新的反应腔温度控制点的温度进行差值补偿。

作为一种可实施方式，所述温度传感器为一个主温度传感器和一个辅助温度传感器；

所述在反应腔底部设置至少两个温度传感器，对反应腔的温度进行检测，包括如下步骤：

将辅助温度传感器设置在所述反应腔底部的中心位置；

将4个所述加热器分别设置在所述反应腔底部的四角位置；

将主温度传感器设置在所述反应腔底部的一角的加热器侧；

控制所述4个加热器对反应腔进行加热；

所述辅助温度传感器和主温度传感器分别对所述反应腔的相应检测点的温度进行检测。

作为一种可实施方式，所述根据至少两个所述温度传感器检测到的温度判断反应腔上设置的加热器断连，包括如下步骤：

将所述主温度传感器和辅助温度传感器检测到反应腔的温度传送至温控器；

所述温控器计算得到主温度传感器和辅助温度传感器的温差；

温控器根据所述的温差与预设温差相比较判断所述加热器断连并进行处理。

作为一种可实施方式，所述温控器根据所述的温差与预设温差相比较判断所述加热器断连并进行处理，包括以下步骤：

当主温度传感器的温度大于辅助温度传感器的温度，并且两者的温差大于预设温差的2倍时，则判断出所述主温度传感器侧的加热器未发生故障，其他三个加热器中的至少一个加热器存在故障，则发出所述其他加热器断开的第一故障报警信号；

当主温度传感器的温度小于辅助温度传感器的温度，则判断出位于所述主温度传感器侧的加热器发生故障，发出所述主温度传感器侧加热器断开的第二故障报警信号；

否则，返回重新检测。

作为一种可实施方式，所述当作为反应腔温度控制点的温度传感器发生故障时，将未作为反应腔温度控制点的另一温度传感器切换作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制，包括如下步骤：

当主温度传感器或者辅助温度传感器作为反应腔温度控制点时，温控器根据接收到的主温度传感器或者辅助温度传感器的温度值，判断所述主温度传感器或者辅助温度传感器是否存在故障；

当判断作为反应腔温度控制点的主温度传感器或者辅助温度传感器存在故障时，则将反应腔温度控制点切换到另一个未作为反应腔温度控制点的辅助温度传感器，替代存在故障的反应腔温度控制点，作为新的反应腔温度控制点，对反应腔温度进行控制；

发出第三故障报警信号。