[发明专利]真空反应腔以及真空加工设备

权利要求书

1.一种真空反应腔，包括多个壁板，多个所述壁板围合形成用于容纳工件的腔室，多个所述壁板中至少一个壁板上设置有观察装置，其特征在于，所述观察装置包括设置于所述壁板上的观察窗以及设置于所述壁板的面向腔室的内部的一侧的用于遮挡观察窗的遮挡板，所述遮挡板可在遮挡所述观察窗的第一位置以及不遮挡所述观察窗的第二位置之间运动。

2.根据权利要求1所述的真空反应腔，其特征在于，所述遮挡板与用于带动所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动的运动杆连接，所述运动杆由所述腔室的内部伸出。

3.根据权利要求2所述的真空反应腔，其特征在于，所述运动杆由所述腔室的内部伸出的一端连接有弹簧管，所述弹簧管通过压缩带动所述运动杆向所述腔室的内部运动以使所述遮挡板由所述第二位置运动至所述第一位置，所述弹簧管通过伸长带动所述运动杆向所述腔室的外部运动以使遮挡板由所述第一位置运动至所述第二位置。

4.根据权利要求3所述的真空反应腔，其特征在于，所述弹簧管的一端与所述运动杆的由所述腔室的内部伸出的一端连接，所述弹簧管的另一端连接有手柄，所述手柄通过带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动。

5.根据权利要求3所述的真空反应腔，其特征在于，所述真空反应腔还包括用于带动所述弹簧管伸长或压缩的动力机构，所述弹簧管的一端与所述运动杆的由所述腔室的内部伸出的一端连接，所述弹簧管的另一端与所述动力机构连接，所述动力机构通过带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动。

6.根据权利要求5所述的真空反应腔，其特征在于，所述动力机构包括：

用于带动所述弹簧管伸长或压缩以使所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间运动的动力部件；

控制器，所述控制器与所述动力部件连接，所述控制器通过控制所述动力部件的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。

7.根据权利要求6所述的真空反应腔，其特征在于，所述动力部件为电机，所述电机的输出轴与所述弹簧管的另一端连接，所述控制器与所述电机连接，所述控制器通过控制所述电机的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。

8.根据权利要求6所述的真空反应腔，其特征在于，所述动力部件为气缸，所述气缸的活塞杆与所述弹簧管的另一端连接，所述控制器与所述气缸连接，所述控制器通过控制所述气缸的活塞杆的运动控制所述遮挡板在所述第一位置和第二位置之间的运动。

9.根据权利要求2所述的真空反应腔，其特征在于，所述观察窗的上方、下方分别设置有第一沟槽以及与第一沟槽相对的第二沟槽，所述遮挡板可滑动地安装于所述第一沟槽以及所述第二沟槽之间，所述第一沟槽以及第二沟槽用于对在所述第一位置和第二位置之间运动的所述遮挡板导向。

10.根据权利要求9所述的真空反应腔，其特征在于，所述第二沟槽的槽底可旋转地设置有滚珠，所述遮挡板通过所述滚珠可滑动地安装于所述第二沟槽内。

11.根据权利要求2所述的真空反应腔，其特征在于，所述运动杆位于所述腔室的内部的部分镶嵌于所述壁板的内部。

12.根据权利要求2所述的真空反应腔，其特征在于，所述运动杆位于所述腔室的内部的部分的外侧设置有防护板。

13.根据权利要求2所述的真空反应腔，其特征在于，多个所述壁板中至少一个壁板上设置有多个所述观察装置，多个所述观察装置的所述遮挡板分别通过连接杆与所述运动杆连接，以使所述运动杆同时带动多个所述观察装置的所述遮挡板运动。

14.根据权利要求13所述的真空反应腔，其特征在于，多个所述壁板中的两相对壁板上分别设置有多个所述观察装置，所述两相对壁板中每一壁板上的多个所述观察装置的所述遮挡板分别与一个所述运动杆连接，以使每一运动杆同时带动一个壁板上的多个所述观察装置的所述遮挡板运动。

15.一种真空加工设备，其特征在于，包括如权利要求1-14任一项所述的真空反应腔。