[发明专利]一种坩埚设备及其在液晶面板生产中的应用有效

专利信息
申请号: 201310754053.8 申请日: 2013-12-31
公开(公告)号: CN103757591A 公开(公告)日: 2014-04-30
发明(设计)人: 张鑫狄;邹清华 申请(专利权)人: 深圳市华星光电技术有限公司
主分类号: C23C14/26 分类号: C23C14/26
代理公司: 广东广和律师事务所 44298 代理人: 刘敏
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 坩埚 设备 及其 液晶面板 生产 中的 应用
【权利要求书】:

1.一种坩埚设备,其特征在于,所述坩埚设备包括加热源(120)、坩埚(110)以及搅拌机构(200),所述加热源(120)用于对所述坩埚(110)内的材料进行加热,所述搅拌机构(200)用于对所述坩埚(110)内的材料进行搅拌。

2.根据权利要求1所述的坩埚设备,其特征在于,所述加热源(120)包括桶状结构(112)以及缠绕在所述桶状结构(112)的内壁上的加热电热丝(122),所述坩埚(110)位于所述桶状结构(112)内部。

3.根据权利要求2所述的坩埚设备,其特征在于,所述加热电热丝(122)的缠绕密度在竖直方向上不同。

4.根据权利要求1所述的坩埚设备,其特征在于,所述坩埚(110)的下部设置有隔热垫(132)。

5.根据权利要求1所述的坩埚设备,其特征在于,所述坩埚(110)具有容纳部及出口部,所述容纳部与所述出口部连通,所述出口部具有一个出气口(102)或多个出气口。

6.根据权利要求5所述的坩埚设备,其特征在于,所述出口部具有多个出气口,且所述多个出气口排列成一条直线状或面状。

7.根据权利要求1至6任一项所述的坩埚设备,其特征在于,所述搅拌机构(200)包括搅拌扇(300)以及驱动所述搅拌扇(300)旋转的驱动源(202)。

8.根据权利要求7所述的坩埚设备,其特征在于,所述驱动源(202)为马达。

9.根据权利要求8所述的坩埚设备,其特征在于,所述驱动源(202)通过轴承(204)与所述搅拌扇(300)动力连接。

10.一种坩埚设备在液晶面板生产中的应用,其特征在于,所述坩埚设备为权利要求1至9任一项所述的坩埚设备。

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