[发明专利]一种坩埚设备及其在液晶面板生产中的应用有效
申请号: | 201310754053.8 | 申请日: | 2013-12-31 |
公开(公告)号: | CN103757591A | 公开(公告)日: | 2014-04-30 |
发明(设计)人: | 张鑫狄;邹清华 | 申请(专利权)人: | 深圳市华星光电技术有限公司 |
主分类号: | C23C14/26 | 分类号: | C23C14/26 |
代理公司: | 广东广和律师事务所 44298 | 代理人: | 刘敏 |
地址: | 518132 广东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 坩埚 设备 及其 液晶面板 生产 中的 应用 | ||
1.一种坩埚设备,其特征在于,所述坩埚设备包括加热源(120)、坩埚(110)以及搅拌机构(200),所述加热源(120)用于对所述坩埚(110)内的材料进行加热,所述搅拌机构(200)用于对所述坩埚(110)内的材料进行搅拌。
2.根据权利要求1所述的坩埚设备,其特征在于,所述加热源(120)包括桶状结构(112)以及缠绕在所述桶状结构(112)的内壁上的加热电热丝(122),所述坩埚(110)位于所述桶状结构(112)内部。
3.根据权利要求2所述的坩埚设备,其特征在于,所述加热电热丝(122)的缠绕密度在竖直方向上不同。
4.根据权利要求1所述的坩埚设备,其特征在于,所述坩埚(110)的下部设置有隔热垫(132)。
5.根据权利要求1所述的坩埚设备,其特征在于,所述坩埚(110)具有容纳部及出口部,所述容纳部与所述出口部连通,所述出口部具有一个出气口(102)或多个出气口。
6.根据权利要求5所述的坩埚设备,其特征在于,所述出口部具有多个出气口,且所述多个出气口排列成一条直线状或面状。
7.根据权利要求1至6任一项所述的坩埚设备,其特征在于,所述搅拌机构(200)包括搅拌扇(300)以及驱动所述搅拌扇(300)旋转的驱动源(202)。
8.根据权利要求7所述的坩埚设备,其特征在于,所述驱动源(202)为马达。
9.根据权利要求8所述的坩埚设备,其特征在于,所述驱动源(202)通过轴承(204)与所述搅拌扇(300)动力连接。
10.一种坩埚设备在液晶面板生产中的应用,其特征在于,所述坩埚设备为权利要求1至9任一项所述的坩埚设备。
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