[发明专利]一种坩埚设备及其在液晶面板生产中的应用

说明书

技术领域

本发明涉及一种坩埚设备。

背景技术

目前常使用的加热源与坩埚相靠近，将热传导至材料，使材料升温蒸发。若坩埚较粗，导热性不良的材料会出现远离坩埚壁处温度低，靠近坩埚壁处温度高的现象。用这种坩埚设备进行蒸镀时，容易出现受热不均的问题。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种坩埚设备，其可以使坩埚内材料受热均匀。

本发明通过如下技术方案实现：一种坩埚设备，其中，所述坩埚设备包括加热源、坩埚以及搅拌机构，所述加热源用于对所述坩埚内的材料进行加热，所述搅拌机构用于对所述坩埚内的材料进行搅拌。

作为上述技术方案的进一步改进，所述加热源包括桶状结构以及缠绕在所述桶状结构的内壁上的加热电热丝，所述坩埚位于所述桶状结构内部。

作为上述技术方案的进一步改进，所述加热电热丝的缠绕密度在竖直方向上不同。

作为上述技术方案的进一步改进，所述坩埚的下部设置有隔热垫。

作为上述技术方案的进一步改进，所述坩埚具有容纳部及出口部，所述容纳部与所述出口部连通，所述出口部具有一个出气口或多个出气口。

作为上述技术方案的进一步改进，所述出口部具有多个出气口，且所述多个出气口排列成一条直线状或面状。

作为上述技术方案的进一步改进，所述搅拌机构包括搅拌扇以及驱动所述搅拌扇旋转的驱动源。

作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动源为马达。

作为上述技术方案的进一步改进，所述驱动源通过轴承与所述搅拌扇动力连接。

根据本发明的另一方面，还提供了一种坩埚设备在液晶面板生产中的应用，其中，所述坩埚设备为上述的坩埚设备。

本发明的有益效果是：本发明的坩埚设备包括加热源、坩埚以及搅拌机构，所述加热源用于对所述坩埚内的材料进行加热，所述搅拌机构用于对所述坩埚内的材料进行搅拌，可以使坩埚内材料受热均匀。

附图说明

图1是根据本发明的一个具体实施例的坩埚设备的结构示意图；

图2是根据本发明的一个具体实施例的坩埚设备的搅拌机构的结构示意图；

图3是用于说明搅拌机构未工作时的材料液面为平面的示意图；

图4是用于说明搅拌机构工作时的材料液面为曲面的示意图。

具体实施方式

以下结合附图对本发明的具体实施方式进行进一步的说明。

如图1所示，本实施例的坩埚设备包括加热源120、坩埚110以及搅拌机构200。其中，所述加热源120用于对所述坩埚110内的材料进行加热，所述搅拌机构200用于对所述坩埚110内的材料进行搅拌。

所述加热源120包括桶状结构112以及缠绕在所述桶状结构112的内壁上的加热电热丝122，所述坩埚110位于所述桶状结构112内部。其中，桶状结构112可以采用金属材质。这样，将需要加热的材料装在坩埚110内，坩埚110由电热丝加热。所述坩埚110的下部设置有隔热垫132。如图1所示，隔热垫132位于后述容纳部104的底壁与桶状结构112的底壁之间。隔热垫132可以为金属层或绝热层，防止热量散失。基于这种结构，加热电热丝122通电升温，坩埚110被加热，到达一定温度时，坩埚110内的材料会蒸发。

其中，所述加热电热丝122的缠绕密度在竖直方向上不同。其中，如图1所示，标号124表示缠绕密度在竖直方向上较密集的位于中部的加热电热丝。标号126表示缠绕密度在竖直方向上较稀疏的位于下部的加热电热丝。

所述坩埚110具有容纳部104及出口部。所述容纳部104与所述出口部连通。其中，所述出口部可以具有一个出气口102或多个出气口。在某些实施例中，所述出口部具有多个出气口，且所述多个出气口排列成一条直线状或面状。

在本实施例的坩埚设备中，所述搅拌机构200包括搅拌扇300以及驱动所述搅拌扇300旋转的驱动源202，如图1和图2所示。其中，所述驱动源202为马达。而且，所述驱动源202通过轴承204与所述搅拌扇300的安装轴206动力连接。

根据本发明的另一方面，还提供了一种坩埚设备在液晶面板生产中的应用，其中，所述坩埚设备为上述的坩埚设备。该坩埚设备可以用作蒸镀加热源结构。

使用该坩埚设备进行加热时，材料会蒸发直至消耗完毕，材料的放置量由坩埚的容量决定。