[发明专利]机械部件、机械系统和用于运行机械部件的方法

权利要求书

1.一种机械部件，所述机械部件具有：

保持装置(10)；

可调节部件(12)，所述可调节部件如此与所述保持装置(10)连接，使得能够使所述可调节部件(12)相对于所述保持装置(10)至少处于具有第一固有频率的第一振动模式中和具有与所述第一固有频率不同的第二固有频率的第二振动模式中；

第一传感器装置(14a)，借助所述第一传感器装置能够提供第一传感器信号(U1)，所述第一传感器信号具有由所述第一传感器信号(U1)的在激励所述可调节部件(12)的第一振动模式时出现的第一最大量值与所述第一传感器信号(U1)的在激励所述可调节部件(12)的第二振动模式时出现的第二最大量值构成的第一比例；和

第二传感器装置(14b)，借助所述第二传感器装置能够提供第二传感器信号(U2)，所述第二传感器信号具有由所述第二传感器信号(U2)的在激励所述可调节部件(12)的第一振动模式时出现的第一最大量值与所述第二传感器信号(U2)的在激励所述可调节部件(12)的第二振动模式时出现的第二最大量值构成的第二比例，

其特征在于，所述第一传感器装置(14a)和所述第二传感器装置(14b)如此彼此连接，使得能够借助至少所述第一传感器信号(U1)和所述第二传感器信号(U2)生成一个总信号(Uges，54)，所述总信号具有由所述总信号(Uges，54)的在激励所述可调节部件(12)的第一振动模式时出现的第一最大量值与所述总信号(Uges，54)的在激励所述可调节部件(12)的第二振动模式时出现的第二最大量值构成的总比例，所述总比例大于所述第一传感器信号(U1)的所述第一比例并且大于所述第二传感器信号(U2)的所述第二比例。

2.根据权利要求1所述的机械部件，其中，所述第一振动模式是有用模式，并且所述第二振动模式是干扰模式。

3.根据权利要求1或2所述的机械部件，其中，所述总信号(Uges，54)的第一最大量值大于或等于所述第一传感器信号(U1)的第一最大量值与所述第二传感器信号(U2)的第一最大量值之和，其中，所述总信号(U2)的第二最大量值小于或等于所述第一传感器信号(U1)的第二最大量值与所述第二传感器信号(U2)的第二最大量值之差。

4.根据以上权利要求中任一项所述的机械部件，其中，所述机械部件是微机械部件。

5.根据以上权利要求中任一项所述的机械部件，其中，所述可调节部件(12)通过至少一个第一弹簧(16a)和至少一个第二弹簧(16b)与所述保持装置(10)连接，其中，所述至少一个第一弹簧和所述至少一个第二弹簧相对于对称平面(18)彼此对称地构造。

6.根据权利要求5所述的机械部件，其中，所述第一传感器装置(14a)构造在所述第一弹簧(16a)在所述保持装置(10)上的第一锚定部位上和/或所述第一弹簧(16a)上，其中，所述第二传感器装置(14b)构造在所述第二弹簧(16b)在所述保持装置(10)上的第二锚定部位上和/或所述第二弹簧(16b)上。

7.根据权利要求5或6所述的机械部件，其中，所述第一振动模式相对于所述对称平面是不对称的，并且所述第二振动模式相对于所述对称平面是对称的，其中，所述总信号(Uges，54)作为差分电压由作为第一传感器信号(U1)提供的第一电压信号(U1)和作为第二传感器信号(U2)提供的第二电压信号(U2)生成。

8.根据权利要求5或6所述的机械部件，其中，所述第一振动模式相对于所述对称平面是对称的，并且所述第二振动模式相对于所述对称平面是不对称的，其中，借助UI转换器作为相加的电压信号由作为第一传感器信号(U1)提供的第一电压信号(U1)和作为第二传感器信号(U2)提供的第二电压信号(U2)生成所述总信号(Uges，54)。

9.根据权利要求5至8中任一项所述的机械部件，其中，所述机械部件的驱动体(20)通过所述第一弹簧(16a)和所述第二弹簧(16b)悬挂在所述保持装置(10)上，其中，所述可调节部件(12)通过至少一个中间弹簧与所述驱动体(20)连接。

10.根据以上权利要求中任一项所述的机械部件，其中，所述第一传感器装置(14a)是第一全电桥(22a)，并且所述第二传感器装置(14b)是第二全电桥(22b)。