[发明专利]机械部件、机械系统和用于运行机械部件的方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种机械部件和一种机械系统。此外，本发明还涉及一种用于运行机械部件的方法。

背景技术

在DE102010029925A1中描述了用于微振动装置的位置识别的一种装置和一种方法。该装置具有一个微振动镜作为可调节部件，所述微振动镜通过悬挂系统与保持装置连接。该装置具有4个构造为麦克风的传感器装置用于识别微镜的当前位置，借助所述的传感器装置可以检测在调节微振动镜时出现的声波作为压力变化。

发明内容

本发明提出一种具有权利要求1所述的特征的机械部件，一种具有权利要求13所述的特征的机械系统和一种具有权利要求15所述的特征的用于运行机械部件的方法。

本发明的优点

本发明简化了对在机械部件的运行中优选受激励的第一振动模式的第一固有频率的求取。如下面更详细地阐述的那样，第一振动模式的第一固有频率的更加容易的可识别性显著地降低对与机械部件共同作用的控制和/或调节装置的要求。机械部件因此能够与成本更低的和需要更少结构空间的控制和/或调节装置共同使用。

第一固有频率不应理解为小于第二固有频率的固有频率。第一固有频率因此也可以大于第二固有频率。“第一固有频率”和“第二固有频率”以及“第一振动模式”和“第二振动模式”这些名称仅仅用于区分固有频率和振动模式。

优选，第一振动模式是有用模式，并且第二振动模式是干扰模式。通过至少两个传感器装置的有利的连接可以生成一个总信号，所述总信号增强地再现有用模式的激励，而干扰模式的激励仅仅被微弱地再现，优选完全受到抑制。总信号尤其可以仅仅再现有用模式的激励，而在至少一个干扰模式中不同的分传感器信号相互抵消/消除。机械部件的任意一个模式都可以选作有用模式。

在一个优选的实施方式中，总信号的第一最大量值大于或等于第一传感器信号的第一最大量值与第二传感器信号的第一最大量值之和，其中，总信号的第二最大量值小于或等于第一传感器信号的第二最大量值与第二传感器信号的第二最大量值之差。因此，可以实现使分配给第一振动模式的第一最大量值上升，而分配给第二振动模式的第二最大量值(近乎)被滤除。这使对具有第一最大量值的、可分配有总信号的相对较高的值的第一固有频率的识别变得容易。

传感器装置的输出信号通常是电压信号。可以在电路中使用UI转换器以使电压信号相加。

机械部件例如可以是微机械部件。恰恰在微机械部件中经常激励由可调节部件和保持装置组成的系统的固有频率，以便因此保证可调节部件的相对较大的调节运动。本发明因此也能够有助于低成本地制造微机械部件和/或改善微机械部件的应用可能性。

在一种优选的实施方式中，可调节部件通过至少一个第一弹簧和至少一个第二弹簧与保持装置连接，所述至少一个第一弹簧和所述至少一个第二弹簧相对于对称平面彼此对称地构造。因此，尤其第一弹簧和第二弹簧的同相或反相的弯曲可以用于，通过合适地执行和连接两个传感器装置来相对于可分配给第二振动模式的总信号值显著提高可分配给第一振动模式的总信号值。

优选地，第一传感器装置构造在第一弹簧在保持装置上的第一锚定部位上和/或第一弹簧上，其中，第二传感器装置构造在第二弹簧在保持装置上的第二锚定部位上和/或第二弹簧上。这显著使得传感器装置的电接触变得更容易。

例如，第一振动模式相对于对称平面是不对称的(反相，180°相移)，而第二振动模式相对于对称平面是对称的(同相)，其中，总信号作为差分电压由作为第一传感器信号提供的第一电压信号和作为第二传感器信号提供的第二电压信号生成。这允许在同时平均(herausmittlung)/减弱可分配给第二振动模式的总信号值时(自动地)增强分配给第一振动模式的总信号值。

同样，第一振动模式也可以相对于对称平面对称(同相)的，并且第二振动模式相对于对称平面是不对称的(反相，180°相移)，其中，借助UI转换器作为“相加的电压信号”由作为第一传感器信号提供的第一电压信号和作为第二传感器信号提供的第二电压信号生成总信号。通过这种方式能够实现在上面的段落中描述的优点。

在一个有利的扩展方案中，机械部件的驱动体通过第一弹簧和第二弹簧悬挂在保持装置上，其中，可调节部件通过至少一个中间弹簧与驱动体连接。如下面更详细描述的那样，在由可相对于保持装置处于不同的振动运动的驱动体和可调节部件组成的系统中，也能够根据总信号容易地识别出相对于其他模式优选使用的第一振动模式。