[实用新型]一种碳化硅单晶炉的感应圈固定安装装置有效
| 申请号： | 201320005265.1 | 申请日： | 2013-01-06 |
| 公开（公告）号： | CN203096232U | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 赵梅玉;邓树军;高宇;陶莹;段聪 | 申请（专利权）人： | 河北同光晶体有限公司 |
| 主分类号： | C30B29/36 | 分类号： | C30B29/36;C30B35/00 |
| 代理公司： | 北京轻创知识产权代理有限公司 11212 | 代理人： | 杨立 |
| 地址： | 102206 北京市昌*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 碳化硅 单晶炉 感应圈 固定 安装 装置 | ||
【权利要求书】：
一种碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置，其特征在于，包括感应圈（1）、上紧固板（2）、下紧固板（3）、支板（4）以及立板（5），所述感应圈（1）固定连接在所述上紧固板（2）与下紧固板（3）之间，所述上紧固板（2）和下紧固板（3）上均固定连接有支板（4），且上下两块支板（4）在竖直方向上平行设置，所述立板（5）固定连接于上下两块支板（4）之间。
根据权利要求1所述碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置，其特征在于，所述感应圈（1）由铜线螺旋盘绕而成，所述感应圈（1）的两端固定连接有铜螺母（6）。
根据权利要求1所述碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置，其特征在于，所述立板（5）上设有安装螺孔（7）。
根据权利要求1所述碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置，其特征在于，所述上紧固板（2）和下紧固板（3）为金属材质，所述上紧固板（2）和下紧固板（3）为圆环型。
根据权利要求4所述碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置，其特征在于，所述圆环型上紧固板（2）和下紧固板（3）具有一断口，在所述断口处设有绝缘垫片（8），所述绝缘垫片（8）将上紧固板（2）和下紧固板（3）断口处的两端固定连接在一起。
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