[实用新型]一种碳化硅单晶炉的感应圈固定安装装置

说明书

本实用新型涉及一种感应圈固定安装装置，尤其涉及一种碳化硅单晶炉的感应加热线圈固定连接装置。

在半导体器件的应用方面，随着碳化硅生产成本的降低，碳化硅单晶由于其优良的物理及电学性能而部分取代单晶硅，打破单晶硅由于材料本身性能的瓶颈，将给电子业带来革命性的变革。目前碳化硅单晶的主要应用领域有LED固体照明，高频率器件，高压功率元件和耐高温的集成电路芯片，这些应用给碳化硅单晶提供巨大的增长需求，同时晶体生长设备‑单晶生长炉也随之需要飞速的发展。碳化硅单晶生长炉属于电阻加热炉，主要由沉积真空室，感应加热系统，工作气路、真空系统、水冷系统及电控系统等组成。感应加热系统对设备整体性能效果至关重要，其运动精度将直接影响真空室内温场的分布。

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种碳化硅单晶炉的感应圈固定安装装置，解决感应圈的运动对真空室内温场影响的问题。

本实用新型解决上述技术问题的技术方案如下：一种碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置，包括感应圈、上紧固板、下紧固板、支板以及立板，所述感应圈固定连接在所述上紧固板与下紧固板之间，所述上紧固板和下紧固板上均固定连接有支板，且上下两块支板在竖直方向上平行设置，所述立板固定连接于上下两块支板之间。

本实用新型的有益效果是：本实用新型通过感应圈连接上下法兰，将感应圈和水冷电缆相对固定，减小感应圈内部水流量及感应圈本身运动带来的对室内温场的不稳定状态。同时，整套装置结构简单，便于安装和调试。

在上述技术方案的基础上，本实用新型还可以做如下改进。

进一步，所述感应圈由铜线螺旋盘绕而成，所述感应圈两端固定连接有铜螺母。

采用上述进一步方案的有益效果是这样设置便于和水冷电缆之间通水及保证密封和截面接触电流通过。

进一步，所述立板上设有安装螺孔。

采用上述进一步方案的有益效果是使装置可以与精密伺服运动机构连接在一起。

采用上述进一步方案的有益效果是使装置可以与精密伺服运动机构连接在一起。

进一步，所述上紧固板和下紧固板为金属材质，所述上紧固板和下紧固板为圆环型。

进一步，所述圆环型上紧固板和下紧固板具有一断口，在所述断口处设有绝缘垫片，所述绝缘垫片将上紧固板和下紧固板断口处的两端固定连接在一起。

采用上述进一步方案的有益效果是这样选材和设置，既保证了结构的刚性要求，又可以消除其导磁性，同时保证了其整体性。

图1为本实用新型结构示意图。

以下结合附图对本实用新型的原理和特征进行描述，所举实例只用于解释本实用新型，并非用于限定本实用新型的范围。

如图1所示，一种碳化硅单晶炉的感应圈固定连接装置，包括感应圈1、上紧固板2、下紧固板3、支板4以及立板5，所述感应圈1固定连接在所述上紧固板2与下紧固板3之间，所述上紧固板2和下紧固板3上均固定连接有支板4，且上下两块支板4在竖直方向上平行设置，所述立板5固定连接于上下两块支板4之间。

通过感应圈1连接上下法兰，将感应圈1和水冷电缆相对固定，减小感应圈内部水流量及感应圈本身运动带来的对室内温场的不稳定状态。同时，整套装置结构简单，便于安装和调试。

所述感应圈1由铜线螺旋盘绕而成，所述感应圈1两端固定连接有铜螺母6，便于和水冷电缆之间通水及保证密封和截面接触电流通过。

所述立板5上设有安装螺孔7，可以与精密伺服运动机构连接在一起。

所述上紧固板2和下紧固板3为金属材质，所述上紧固板2和下紧固板3为圆环型，所述圆环型上紧固板2和下紧固板3具有一断口，在所述断口处设有绝缘垫片8，所述绝缘垫片8将上紧固板2和下紧固板3断口处的两端固定连接在一起。这样选材和设置，既保证了结构的刚性要求，又可以消除其导磁性，同时保证了其整体性。

以上所述仅为本实用新型的较佳实施例，并不用以限制本实用新型，凡在本实用新型的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本实用新型的保护范围之内。