[实用新型]用于晶体生长的热屏蔽内层

说明书

本实用新型涉及晶体生长炉，特别涉及一种用于晶体生长的热屏蔽内层。

现有的用于晶体生长的热屏蔽内层由图1所示的组件砌成，这样形成的热屏蔽内层组件之间缝隙直通，从而造成热损失大，温场不稳定，而影响产品质量。

本实用新型的目的就在于提供一种用于晶体生长的热屏蔽内层，该用于晶体生长的热屏蔽内层无缝隙，热损失小，温场稳定。

本实用新型的技术方案是：一种用于晶体生长的热屏蔽内层，所述热屏蔽内层由一组组件叠砌而成，所述组件包括圆弧形基体，该圆弧形基体两侧分别带有第一凸起和第二凸起，所述第一凸起前方为第一空体，所述第二凸起后方为第二空体；所述第一凸起与相邻组件第二空体相吻合，所述第二凸起与相邻组件第一空体相吻合。

作为优选，所述组件材料为氧化锆。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果在于：采用本实用新型保护的热屏蔽内层，由于第一凸起与相邻组件第二空体相吻合，第二凸起与相邻组件第一空体相吻合，因此热屏蔽内层无缝隙，热损失小，温场稳定。而氧化锆用于热屏蔽内层具有很好的热屏蔽效果。

图1为本实用新型的背景技术示意图；

图2为本实用新型的组件1结构示意图；

图2为本实用新型的组件1结构示意图；

图3为本实用新型的整体结构示意图。

下面将结合附图对本实用新型作进一步说明。

如图3所示的用于晶体生长的热屏蔽内层，该热屏蔽内层由一组组件1叠砌而成。

如图2所示，组件1包括圆弧形基体2，该圆弧形基体2两侧分别带有第一凸起3和第二凸起5，第一凸起3前方为第一空体4，第二凸起5后方为第二空体6。组件1第一凸起3与相邻组件1第二空体6相吻合，第二凸起5与相邻组件1第一空体4相吻合。

叠砌时，将组件1第一凸起3嵌入相邻组件1第二空体6，第二凸起5嵌入相邻组件1第一空体4。

叠砌成的热屏蔽内层组件1之间无缝隙，热损失小，温场稳定。

组件1材料采用氧化锆。氧化锆具有熔点高、硬度大。氧化锆热导率低(1000℃，2．09W/(m·K))，线膨胀系数大(25～1500℃ 9．4×10‑6/℃)，高温结构强度高，在氧化气氛中使用稳定性好，用于热屏蔽内层具有很好的热屏蔽效果。

上述实施方式仅作为本实用新型的说明而非限制，本实用新型保护范围还应包括那些对于本领域普通技术人员来说显而易见的转换、转化、变化或替代，以及在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本本实用新型宗旨的前提下作出各种变化。