[实用新型]一种影像传感器

权利要求书

1.一种影像传感器，包括硅晶圆，所述硅晶圆上附着有蒸汽氧化物，所述蒸汽氧化物上有高介质层，所述高介质层上附着有金属遮蔽层，所述金属遮蔽层上附着有滤光片及透光镜，其特征在于，还包括热膨胀缓冲层，所述热膨胀缓冲层位于所述蒸汽氧化物和所述高介质层之间，所述膨胀缓冲层附着在所述蒸汽氧化物上。

2.根据权利要求1所述一种影像传感器，其特征在于，所述热膨胀缓冲层的热膨胀系数在2.5E-6m/k～5.8E-6m/k之间。

3.根据权利要求1所述一种影像传感器，其特征在于，所述热膨胀缓冲层的厚度在之间。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种影像传感器，其特征在于，所述热膨胀缓冲层为氧化物或氮化物或氮氧化物。