[实用新型]一种三氯氢硅提纯装置

权利要求书

1.一种三氯氢硅的提纯装置，其特征在于：其包括预处理系统、一级脱重塔和二级脱轻塔，预处理系统、一级脱重塔和二级脱轻塔间采用串联方式连接。

2.根据权利要求1所述三氯氢硅的提纯装置，其特征在于：预处理系统包括预处理塔下部再沸器（1）、预处理塔（2）、预处理塔冷凝器（3）、预处理塔回流罐（4）、预处理塔釜液储罐（5），预处理塔下部再沸器（1）和预处理塔釜液储罐（5）设置在预处理塔（2）下部，预处理塔（2）通过预处理塔冷凝器（3）与预处理塔回流罐（4）连接，预处理塔回流罐（4）下部一端与一级脱重塔中部连接形成进料，另一端返回预处理塔（2）顶部形成回流，预处理塔（2）为高效导向筛板塔。

3.根据权利要求1所述三氯氢硅的提纯装置，其特征在于：一级脱重塔包括一级塔进料泵（6）、一级塔下部再沸器（7）、一级塔（8）、一级塔冷凝器（9）、一级塔回流罐（10）、一级塔釜液储罐（11），一级塔进料泵（6）与一级塔（8）连接，一级塔（8）通过一级塔冷凝器（9）与一级塔回流罐（10）连接，一级塔下部再沸器（7）和一级塔釜液储罐（11）设置在一级塔（8）下部，一级塔回流罐（10）下部一端与二级脱轻塔中部连接形成进料，另一端返回一级塔（8）顶部形成回流，一级塔（8）为高效导向筛板塔。

4.根据权利要求1所述三氯氢硅的提纯装置，其特征在于：二级脱轻塔包括二级塔进料泵（12）、二级塔下部再沸器（13）、二级塔（14）、二级塔冷凝器（15）、二级塔回流罐（16）、三氯氢硅储罐（17），二级塔进料泵（12）与二级塔（14）连接，二级塔（14）通过二级塔冷凝器（15）与二级塔回流罐（16）连接，二级塔下部再沸器（13）和三氯氢硅储罐（17）设置在二级塔（14）下部，二级塔回流罐（16）下部一端返回二级塔（14）顶部形成回流，另一端收集液体，二级塔（14）为高效导向筛板塔。

5.根据权利要求1所述三氯氢硅的提纯装置，其特征在于：在预处理系统、一级脱重塔和二级脱轻塔的冷凝器上部均设有管道，以收集未被冷凝的低沸点气体。