[实用新型]磁性金属异物的捕捉装置有效
申请号: | 201320023160.9 | 申请日: | 2013-01-16 |
公开(公告)号: | CN203044161U | 公开(公告)日: | 2013-07-10 |
发明(设计)人: | 前田将克 | 申请(专利权)人: | 苏州住友电木有限公司 |
主分类号: | B03C1/32 | 分类号: | B03C1/32 |
代理公司: | 上海市华诚律师事务所 31210 | 代理人: | 梅高强;刘煜 |
地址: | 215021 江苏省苏州市中*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 磁性 金属 异物 捕捉 装置 | ||
1.一种磁性金属异物的捕捉装置,其特征在于,
包含:
流路部件,该流路部件具有倾斜的流路并通过所述流路使含有半导体密封组成物的被处理物流下;以及
磁铁,该磁铁设置在所述流路部件的下方、吸引所述被处理物中的磁性金属异物,
所述流路被树脂膜覆盖。
2.根据权利要求1所述的磁性金属异物的捕捉装置,其特征在于,所述被处理物包含所述半导体密封组成物和有机溶剂。
3.根据权利要求1所述的磁性金属异物的捕捉装置,其特征在于,所述树脂膜相对于所述流路可装拆地贴附。
4.根据权利要求2所述的磁性金属异物的捕捉装置,其特征在于,所述树脂膜相对于所述流路可装拆地贴附。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的磁性金属异物的捕捉装置,其特征在于,所述流路部件的厚度为1μm以上、300μm以下。
6.根据权利要求1-4中任一项所述的磁性金属异物的捕捉装置,其特征在于,
所述磁铁沿着所述流路部件倾斜配置,
所述流路部件和所述磁铁的倾斜角度为5°以上、80°以下。
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