[实用新型]石英晶片厚度分选机有效
申请号: | 201320057282.X | 申请日: | 2013-02-01 |
公开(公告)号: | CN203030546U | 公开(公告)日: | 2013-07-03 |
发明(设计)人: | 王维锐;刘木林;王均晖;张林友 | 申请(专利权)人: | 浙江大学台州研究院 |
主分类号: | B07C5/08 | 分类号: | B07C5/08;B07C5/02;B07C5/36 |
代理公司: | 台州市南方商标专利事务所(普通合伙) 33225 | 代理人: | 白家驹 |
地址: | 317600 浙江省台州*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 石英 晶片 厚度 分选 | ||
1.一种石英晶片厚度分选机,其特征在于:包括上料模块(1)、取料模块(2)、厚度测量模块(3)、分选模块(5);取料模块(2)包括取料电机(15),取料电机(15)的输出端连接取片臂(16)的固定端,取料电机(15)能够驱动取片臂(16)绕其固定端旋转,使取片臂(16)的自由端在取料工位与测量工位之间切换;取片臂(16)的自由端设置有上电极(17);
取料电机(15)的一侧设置有上料模块(1),取料电机(15)的另一侧设置有厚度测量模块(3);厚度测量模块(3)的一侧设置有分选模块(5);
取料模块(2)通过取片臂(16)将上料模块(1)送来的晶片传递给厚度测量模块(3),分选模块(5)根据厚度测量模块(3)的测量结果对晶片进行分选。
2.根据权利要求1所述的石英晶片厚度分选机,其特征在于:所述上料模块(1)包括上料电机(13),上料电机(13)的输出端连接滚珠丝杆(12);滚珠丝杆(12)通过活动螺母连接设置于片盒(9)内的滑块,使片盒(9)内的晶片能够沿直线导轨(11)上下运动;上料电机(13)驱动滚珠丝杆(12)旋转,滚珠丝杆(12)带动片盒(9)内的滑块沿直线导轨(11)向上运动,从而将片盒(9)中的晶片向上送。
3.根据权利要求2所述的石英晶片厚度分选机,其特征在于:所述片盒(9)的另一端设置有片盒磁铁吸和块(10),用于片盒(9)的定位。
4.根据权利要求1所述的石英晶片厚度分选机,其特征在于:所述上料模块(1)的上方两侧分别设置有相互对应的发射光纤模块(18)和接收光纤模块(14);当片盒(9)内的晶片运动至片盒(9)的顶部晶片正好处于发射光纤模块(18)与接收光纤模块(14)之间时,上料电机(13)停止,取料电机(15)驱动取片臂(16)绕其固定端旋转,当取片臂(16)的自由端运动至取料工位时,通过其自由端的上电极(17)抓取片盒(9)中的晶片。
5.根据权利要求1所述的石英晶片厚度分选机,其特征在于:所述厚度测量模块(3)包括下电极(22),下电极(22)位于取片臂(16)的测量工位;下电极(22)固定设置于测量台底板(21)上,测量台底板(21)通过直线轴承(20)连接测量模块底板(19);下电极(22)的一侧设置有用于调节下电极(22)高度的微分头(23);
当取片臂(16)的自由端运动至测量工位时,晶片位于上电极(17)与下电极(22)之间,此时通过上、下电极(17、22)对晶片进行厚度测量。
6.根据权利要求1所述的石英晶片厚度分选机,其特征在于:所述分选模块(5)包括分选电机(25),分选电机(25)的输出端设置有分选吸头(26),分选电机(25)驱动分选吸头(26)从下电极(22)上抓取晶片;分选电机(25)通过电机支架活动设置于滑台(24)上,滑台电机(28)驱动电机支架沿滑台(24)的长度方向运动;分选吸头(26)的活动区域下方设置有多个料盒(27);
滑台电机(28)通过电机支架驱动分选吸头(26)移动,使分选吸头(26)运动至不同的料盒(27)的上方,从而将所抓取的晶片放置于不同的料盒(27)内。
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