[实用新型]自动取样装置有效
申请号: | 201320062120.5 | 申请日: | 2013-02-01 |
公开(公告)号: | CN203101108U | 公开(公告)日: | 2013-07-31 |
发明(设计)人: | 李广宁;施燕莉 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | G01N1/10 | 分类号: | G01N1/10 |
代理公司: | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人: | 屈蘅;李时云 |
地址: | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 自动 取样 装置 | ||
一种自动取样装置,用于对机台内的液体存储槽中的液体进行自动取样,其特征在于:包括取样管、密闭容器、取样瓶、控制阀、控制器以及用于检测液位是否到达取样瓶指定液位的液位感应器,所述取样管的上端与液体存储槽的取样口密闭连接,所述控制器分别与所述控制阀和所述液位感应器连接,所述控制器设置于所述取样管上,所述密闭容器的顶盖开设供所述取样管的下端伸入的通孔,所述密闭容器的顶盖与所述取样管密封固定连接,所述密闭容器上开设用于取放所述取样瓶的门洞,并在所述密闭容器上设置用于打开或者关闭所述门洞的活动门。
根据权利要求1所述的自动取样装置,其特征在于,还包括流量计,所述流量计与所述控制器连接,所述流量计安装于所述取样管上。
根据权利要求1所述的自动取样装置,其特征在于,所述活动门和所述密闭容器转动连接。
根据权利要求1所述的自动取样装置,其特征在于,所述活动门和所述密闭容器滑动连接。
根据权利要求1所述的自动取样装置,其特征在于,所述液位感应器设置于所述密闭容器内,且所述液位感应器的设置位置与位于所述密闭容器内的所述取样瓶的3/5‑4/5高度范围相对应。
根据权利要求1所述的自动取样装置,其特征在于,所述控制阀安装于所述取样管和所述密闭容器的顶盖的连接处。
根据权利要求1所述的自动取样装置,其特征在于,所述密闭容器的顶盖是透明板。
根据权利要求1所述的自动取样装置,其特征在于,所述密闭容器的侧壁是透明板。
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