[实用新型]自动取样装置

说明书

本实用新型涉及半导体制造领域，尤其涉及一种自动取样装置。

在半导体的生产制造过程中，经常需要使用液体和产品进行反应，如晶圆的湿法蚀刻工艺中，采用酸液和晶圆反应，以去除晶圆上的特定薄膜。

现有的蚀刻机台的背面设有液体存储槽，例如酸槽，其内装有用于晶圆的湿法刻蚀的酸液。酸槽内的酸液使用一段时间后，其内的金属离子杂质会逐渐增加，如超过一定的量这些金属离子杂质会粘附于晶圆表面，以致损伤及侵蚀晶圆。因此，通常每隔一个月，就要对酸槽内的酸液进行取样分析。需要取样时，先打开机台背面的机台背部玻璃挡板，一个人手拿取样瓶对着取样管的下端即出口，另一个人操作安装于取样管上的控制阀，两人一起协同操作完成取样工作。由此，不但费时费力，而且液体取样量因人工操作而误差比较大。

因此，如何提供一种可以自动、精确取样的自动取样装置是本领域技术人员亟待解决的一个技术问题。

本实用新型的目的在于提供一种自动取样装置，可以实现自动、精确的取样，有效提高液体取样效率和精度。

为了达到上述的目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种自动取样装置，用于对机台内的液体存储槽中的液体进行自动取样，包括取样管、密闭容器、取样瓶、控制阀、控制器以及用于检测液位是否到达取样瓶指定液位的液位感应器，所述取样管的上端与液体存储槽的取样口密闭连接，所述控制器分别与所述控制阀和所述液位感应器连接，所述控制器设置于所述取样管上，所述密闭容器的顶盖开设供所述取样管的下端伸入的通孔，所述密闭容器的顶盖与所述取样管密封固定连接，所述密闭容器上开设用于取放所述取样瓶的门洞，并在所述密闭容器上设置用于打开或者关闭所述门洞的活动门。

优选的，在上述的自动取样装置中，还包括流量计，所述流量计与所述控制器连接，所述流量计安装于所述取样管上。

优选的，在上述的自动取样装置中，所述活动门和所述密闭容器转动连接。

优选的，在上述的自动取样装置中，所述活动门和所述密闭容器滑动连接。

优选的，在上述的自动取样装置中，所述液位感应器设置于所述密闭容器内，且所述液位感应器的设置位置与位于所述密闭容器内的所述取样瓶的3/5‑4/5高度范围相对应。

优选的，在上述的自动取样装置中，所述液位感应器设置于所述密闭容器内，且所述液位感应器的设置位置与位于所述密闭容器内的所述取样瓶的3/5‑4/5高度范围相对应。

优选的，在上述的自动取样装置中，所述控制阀安装于所述取样管和所述密闭容器的顶盖的连接处。

优选的，在上述的自动取样装置中，所述密闭容器的顶盖是透明板。

优选的，在上述的自动取样装置中，所述密闭容器的侧壁是透明板。

本实用新型提供的自动取样装置，安装于取样管的下方，所述取样管的上端与液体存储槽的取样口密闭连接，包括密闭容器、取样瓶、控制阀、控制器以及用于检测液位是否到达取样瓶指定液位的液位感应器。需要取样时，只要打开活动门，将取样瓶对准取样管的下端放入密闭容器内，然后关上活动门，打开控制器，控制器会打开控制阀，使得液体存储槽内的液体流入取样瓶中，当液位感应器感应到取样瓶内的液位到达指定位置时，通知控制阀关闭，从而实现自动、精确的取样，有效提高液体取样效率和精度。

此外，本实用新型通过在所述取样管上增设流量计，所述流量计与所述控制器连接，通过流量计可以获知取样管内液体的流量，当取样管内液体的流量超过控制器内的设定的上限值时，控制器会通知控制阀减少流量，从而可以防止流量过大以致液位感应器来不及反应，取样瓶就已经满至溢出的问题，进而避免液体外流引发的污染和清洁工作。

本实用新型的自动取样装置由以下的实施例及附图给出。

图1是本实用新型一实施例的自动取样装置的结构示意图；

图2是本实用新型一实施例的自动取样装置的控制原理图。

图中，1‑取样管、2‑密闭容器、21‑门洞、22‑活动门、3‑取样瓶、4‑控制阀、5‑控制器、6‑液位感应器、7‑流量计、8‑接口部件、9‑机台背部玻璃挡板。

以下将对本实用新型的自动取样装置作进一步的详细描述。

下面将参照附图对本实用新型进行更详细的描述，其中表示了本实用新型的优选实施例，应该理解本领域技术人员可以修改在此描述的本实用新型而仍然实现本实用新型的有益效果。因此，下列描述应当被理解为对于本领域技术人员的广泛知道，而并不作为对本实用新型的限制。