[实用新型]晶舟盒

说明书

技术领域

本实用新型是有关于一种盒子，特别是指一种容纳晶舟的晶舟盒。

背景技术

一般于工厂内要置放或搬运在半导体制程中所使用的晶圆片皆须先将晶圆片放置于晶舟内，若是运送的距离较长，则会先将晶舟放置于一容器内再进行运送。容器能防止灰尘污染、水气沾附等问题。

参阅图1，一般供晶舟12放置的晶舟盒11包含一底座111、一上盖112，及一夹持件113。上盖112可分离的盖合于底座111上。夹持件113供使用者放入一文件，但夹持件113的构造复杂，须先将上盖112与夹持件113分开制造，再将夹持件113结合于上盖112顶面，如此一来，将会增加晶舟盒11的制造成本。

如图2所示，当晶舟12放置于晶舟盒11中，晶舟盒11能防止外部灰尘或水气进入，进而保护晶舟12及晶舟12所乘载的晶圆片13。

但晶舟12在图面的上方及左右两侧都还有空间且没有定位的功能，如此一来，在运送的过程中，晶舟12会在晶舟盒11中上下晃动或左右位移，使晶舟12与晶舟盒11碰撞、摩擦产生微尘，进而污染晶圆片13。

发明内容

本实用新型的目的在于提供一种能够供晶舟放置并定位的晶舟盒。

本实用新型晶舟盒，适于容置一晶舟，该晶舟盒包含一底座、一上盖，及一连结单元。

该底座包括一底壁、一自该底壁前缘向上延伸的第一前壁、一自该底壁后缘向上延伸的第一后壁、二自该底壁两相反侧向上延伸并分别连接于该第一前壁与该第一后壁间的第一侧壁，及一自该底壁向上凸伸且供该晶舟定位用的定位凸肋。

该上盖可开启地设置于该底座上。该上盖包括一顶壁、一自该顶壁前缘向下延伸的第二前壁、一自该顶壁后缘向下延伸的第二后壁，及二自该顶壁两相反侧向下延伸并分别连接于该第二前壁与该第二后壁间的第二侧壁。该上盖与该底座相配合界定出一供该晶舟放置的容室。

借该连结单元使该上盖的第二前壁可分离地连结于该底座的第一前壁上。

较佳地，该定位凸肋分别与该底座的所述第一侧壁相间隔。

较佳地，该定位凸肋具有一自该底壁向上凸伸且分别与该底座的所述第一侧壁相间隔并呈长条状的侧向定位部、一自该侧向定位部一端向上延伸并连接于该底座的第一前壁的前定位部，及一自该侧向定位部另一端向上延伸并连接于该底座的第一后壁的后定位部。

较佳地，该晶舟盒还包含一夹持单元。该夹持单元包括一连接于该上盖的任一第二侧壁的外侧面的夹持壁，该夹持壁与所对应的该第二侧壁相配合界定出一用于容置并夹持的一文件的夹持槽。

较佳地，该夹持单元的夹持壁是与该上盖一体成形的。

较佳地，该夹持单元还包括至少一自该夹持壁内侧朝所对应的该第二侧壁凸设的夹持肋。

较佳地，该夹持肋在一水平方向上的厚度是由一端往另一端渐增。

较佳地，该夹持单元还包括一两端分别连固于该夹持壁顶部及所对应的该第二侧壁上的连接壁。

较佳地，该晶舟盒还包含二相间隔地设置于该上盖的顶壁内侧的弹性件。

较佳地，每一弹性件包括一固定于该顶壁内侧的固定部、一自该固定部往下延伸出的弹性部，及一连接于该弹性部自由端的顶抵部，当该晶舟放置于该晶舟盒中且该上盖封盖于该底座上时，该顶抵部顶抵于该晶舟上。

较佳地，每一弹性件包括多个固定于该顶壁内侧的固定部、多个分别自对应的所述固定部往下延伸出的弹性部，及一连接于所述弹性部自由端的顶抵部，当该晶舟放置于该晶舟盒中且该上盖封盖于该底座上时，该顶抵部顶抵于该晶舟上。

较佳地，每一弹性件的所述弹性部长度不同，进而使该顶抵部倾斜。

本实用新型的另一目的在于提供一种能够供晶舟放置并能夹持文件的晶舟盒。

于是，本实用新型晶舟盒，适于容置一晶舟，该晶舟盒包含一底座、一上盖、一连结单元，及一夹持单元。

该底座包括一底壁、一自该底壁前缘向上延伸的第一前壁、一自该底壁后缘向上延伸的第一后壁，及二自该底壁两相反侧向上延伸并分别连接于该第一前壁与该第一后壁间的第一侧壁。

该上盖可开启地设置于该底座上。该上盖包括一顶壁、一自该顶壁前缘向下延伸的第二前壁、一自该顶壁后缘向下延伸的第二后壁，及二自该顶壁两相反侧向下延伸并分别连接于该第二前壁与该第二后壁间的第二侧壁。该上盖与该底座相配合界定出一供该晶舟放置的容室。

借连结单元使该上盖的第二前壁可分离地连结于该底座的第一前壁上。

该夹持单元包括一连接于该上盖的任一第二侧壁的外侧面的夹持壁，该夹持壁与所对应的第二侧壁相配合界定出一用于容置一文件的夹持槽。

较佳地，该夹持单元的夹持壁是与该上盖一体成形的。