[实用新型]一种单晶炉气体供给系统

权利要求书

1.一种单晶炉气体供给系统，包括用于向单晶炉内通入氩气的氩气供给管路（1）和用于向所述单晶炉内通入压缩空气的空气供给管路（2），其特征在于，还包括：

将所述氩气供给管路（1）和所述空气供给管路（2）连通的切换管路（3）；

设置于所述切换管路（3）上的第一开关阀（32）；

设置于所述空气供给管路（2）上的第二开关阀（21），所述第二开关阀（21）位于所述切换管路（3）与所述空气供给管路（2）的相接点和所述空气供给管路（2）的进气口之间；

用于检测所述空气供给管路（2）内部气压的压力表。

2.根据权利要求1所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述切换管路（3）上还设置有允许所述氩气流入所述空气供给管路（2）的单向阀（31）。

3.根据权利要求1所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述切换管路（3）上还设置有第三开关阀（33），以及设置有第四开关阀（41）的泄压支路（4），所述泄压支路（4）的一端与大气相通，另一端与所述切换管路（3）相通且位于所述第一开关阀（32）和所述第三开关阀（33）之间。

4.根据权利要求3所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述压力表为电接点压力表（5），并且，所述电接点压力表（5）与控制系统连接，所述控制系统包括由所述电接点压力表（5）控制开闭的压力检测开关（51）与报警器（55）串联构成的报警控制支路。

5.根据权利要求4所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述第一开关阀（32）、所述第二开关阀（21）、所述第三开关阀（33）和所述第四开关阀（41）均为电磁阀，所述控制系统包括用于控制所述第一开关阀（32）和所述第三开关阀（33）打开，并且控制所述第二开关阀（21）和所述第四开关阀（41）关闭的自动切换控制支路，所述自动切换控制支路与所述报警器（55）并联。

6.根据权利要求5所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述自动切换控制支路中串联有手动切换开关（53）。

7.根据权利要求5或6所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述自动切换控制支路中设置有切换指示灯（56）。

8.根据权利要求5所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述自动切换控制支路中，用于控制所述第一开关阀（32）、所述第三开关阀（33）和所述第四开关阀（41）的继电器为中间继电器（58）。

9.根据权利要求5所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述自动切换控制支路中，用于控制所述第二开关阀（21）的继电器为延时继电器（57）。

10.根据权利要求5所述的单晶炉气体供给系统，其特征在于，所述控制系统中设置有用于将所述第一开关阀（32）、所述第二开关阀（21）、所述第三开关阀（33）和所述第四开关阀（41）复位的复位按钮（54）。