[实用新型]一种单晶炉气体供给系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及太阳能电池制造领域，特别涉及一种单晶炉气体供给系统。

背景技术

单晶炉是指：在惰性气体环境中，采用石墨电阻加热器将硅材料熔化，并采用直拉法生长无位错单晶的设备。氩气是一种惰性气体，单晶炉在运行时，单晶炉内通入氩气用于保护热场部件，同时也用于冷却单晶硅棒。并且，单晶炉内通过压缩空气驱动排气管路上的气动球阀开启和关闭，同时也驱动单晶炉内其它气动球阀的动作。

现有技术中，压缩空气管路中的压缩空气是由空压机来提供，当空压机电源或设备自身出现问题后，就会导致空压机无法正常工作，这样就会造成压缩空气供给出现异常。当压缩空气出现供给异常后，压缩空气将无法再驱动单晶炉上相关的气动球阀动作，导致该气动球阀将自动关闭，从而影响生产。例如，如果单晶炉排气管路上的气动球阀关闭后，炉内的气体将无法排出，这样就会造成炉内压力升高，还会导致排气堵塞，影响硅棒的成品率，造成生产成本升高。

因此，如何避免单晶炉由于压缩空气出现供给异常而令气动球阀自动关闭，从而影响硅棒成品率，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型提供了一种单晶炉气体供给系统，在压缩空气出现供给异常时，可以利用氩气代替压缩气体继续对单晶炉内的气动球阀进行控制，避免由于气动球阀自动关闭而影响硅棒成品率。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：

一种单晶炉气体供给系统，包括用于向单晶炉内通入氩气的氩气供给管路和用于向所述单晶炉内通入压缩空气的空气供给管路，还包括：

将所述氩气供给管路和所述空气供给管路连通的切换管路；

设置于所述切换管路上的第一开关阀；

设置于所述空气供给管路上的第二开关阀，所述第二开关阀位于所述空气供给管路的进气口与所述切换管路与所述空气供给管路的相接点之间；

用于检测所述空气供给管路内部气压的压力表。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述切换管路上还设置有允许所述氩气流入所述空气供给管路的单向阀。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述切换管路上还设置有第三开关阀，以及设置有第四开关阀的泄压支路，所述泄压支路的一端与大气相通，另一端与所述切换管路相通且位于所述第一开关阀和所述第三开关阀之间。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述压力表为电接点压力表，并且，所述电接点压力表与控制系统连接，所述控制系统包括由所述电接点压力表控制开闭的压力检测开关与报警器串联构成的报警控制支路。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述第一开关阀、所述第二开关阀、所述第三开关阀和所述第四开关阀均为电磁阀，所述控制系统包括用于控制所述第一开关阀和所述第三开关阀打开，并且控制所述第二开关阀和所述第四开关阀关闭的自动切换控制支路，所述自动切换控制支路与所述报警器并联。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述自动切换控制支路中串联有手动切换开关。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述自动切换控制支路中设置有切换指示灯。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述自动切换控制支路中，用于控制所述第一开关阀、所述第三开关阀和所述第四开关阀的继电器为中间继电器。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述自动切换控制支路中，用于控制所述第二开关阀的继电器为延时继电器。

优选地，在上述单晶炉气体供给系统中，所述控制系统中设置有用于将所述第一开关阀、所述第二开关阀、所述第三开关阀和所述第四开关阀复位的复位按钮。

从上述的技术方案可以看出，本实用新型实施例提供的单晶炉气体供给系统中，在氩气供给管路和空气供给管路之间设置有切换管路。压力表检测空气供给管路内气压低于一定值，即空气供给管路内压缩空气供给出现异常时，可以关闭空气供给管路上的第二开关阀，并打开切换管路上的第一开关阀，以接通氩气供给管路和空气供给管路，从而，将氩气供给管路中的氩气充入空气供给管路内代替压缩气体，继续驱动单晶炉内的气动球阀进行动作，从而避免了由于压缩空气出现供给异常而导致单晶炉内相关的气动球阀自动关闭的问题，保证了单晶炉的运行，保证了硅棒成品率。进一步地，待压缩空气供给恢复正常后再关闭操作切换管路上的第一开关阀，恢复原始的气体供给状态。

附图说明