[实用新型]用于镀膜制程的气体释出装置

权利要求书

1.一种用于镀膜制程的气体释出装置，其特征在于，包含有：

二板件，分别具有一顶面、一底面，以及一邻接该顶、底两面的接合侧面，该二板件藉由该二接合侧面相互接合在一起，各个板件的接合侧面具有一进气槽，该进气槽的顶端于该顶面形成一进气口，该进气槽的底端衔接一第一分配槽，该第一分配槽的两端分别衔接一第二分配槽，各个第二分配槽的两端分别衔接一第三分配槽，各个第三分配槽的两端分别衔接一第四分配槽，各个第四分配槽的两端分别衔接一第五分配槽，各个第五分配槽的底端于该底面形成一排气口。

2.根据权利要求1所述的用于镀膜制程的气体释出装置，其特征在于，该进气槽的断面形状、该第一分配槽的断面形状、各个第二分配槽的断面形状、各个第三分配槽的断面形状、各个第四分配槽的断面形状，以及各个第五分配槽的断面形状均呈半圆形。

3.根据权利要求2所述的用于镀膜制程的气体释出装置，其特征在于，该进气槽的槽径等于该第一分配槽的槽径，该第一分配槽的槽径大于各个第二分配槽的槽径，各个第二分配槽的槽径大于各个第三分配槽的槽径，各个第三分配槽的槽径大于各个第四分配槽的槽径，各个第四分配槽的槽径大于各个第五分配槽的槽径。

4.根据权利要求3所述的用于镀膜制程的气体释出装置，其特征在于，该第一分配槽具有一第一横向段及二第一纵向段，该第一横向段的中央衔接该进气槽的底端，该第一横向段的两端分别衔接一该第一纵向段，各个第二分配槽具有一第二横向段及二第二纵向段，该第二横向段的中央衔接该第一纵向段的底端，该第二横向段的两端分别衔接一该第二纵向段，各个第三分配槽具有一第三横向段及二第三纵向段，该第三横向段的中央衔接该第二纵向段的底端，该第三横向段的两端分别衔接一该第三纵向段，各个第四分配槽具有一第四横向段及二第四纵向段，该第四横向段的中央衔接该第三纵向段的底端，该第四横向段的两端分别衔接一该第四纵向段，各个第五分配槽具有一第五横向段及二第五纵向段，该第五横向段的中央衔接该第四纵向段的底端，该第五横向段的两端分别衔接一该第五纵向段，各个第五纵向段的底端形成该排气口。