[实用新型]一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置有效
申请号: | 201320079915.7 | 申请日: | 2013-02-21 |
公开(公告)号: | CN203144552U | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 王笑波;万永;肖益波;李忠平;朱红娣 | 申请(专利权)人: | 无锡开日能源科技股份有限公司 |
主分类号: | C30B11/00 | 分类号: | C30B11/00;C30B29/06 |
代理公司: | 无锡盛阳专利商标事务所(普通合伙) 32227 | 代理人: | 杜丹盛 |
地址: | 214000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 铸锭 顶部 加热器 保温 除尘 装置 | ||
1.一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置,其包括炉体,所述炉体的上部空腔内设置有顶部保温板,所述顶部保温板的下方设置有顶部加热器,所述顶部加热器通过石墨电极定位于所述顶部保温板的定位孔内,所述石墨电极的上部连接铜电极,所述顶部保温板上设置有石墨导气管,所述石墨导气管的对应布置于所述铜电极的附近,所述石墨导气管的底部喷口朝向所述石墨电极的连接处,其特征在于:所述顶部保温板的上部设置有内部通路相互导通的不锈钢管架,所述不锈钢管架的下方设置有不锈钢法兰,所述不锈钢法兰支承于对应的所述石墨导气管的上端面,每个所述不锈钢管法兰与所述不锈钢管架的连接钢管上均设置有喷孔,每个所述喷孔朝向对应的所述铜电极、并向下倾斜朝向所述顶部保温板的上表面,所述连接钢管连通所述石墨导气管,所述石墨导气管的底部喷口向下倾斜、并朝向所述顶部加热器的顶面,进气管连通所述不锈钢管架的内部通路。
2.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置,其特征在于:所述石墨导气管为六根,所述不锈钢法兰具体为六个,六个所述不锈钢法兰支承于对应的所述石墨导气管。
3.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置,其特征在于:所述喷孔的直径为2mm~3mm。
4.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置,其特征在于:所述石墨导气管的底部喷口的直径为2mm~3mm。
5.根据权利要求1所述的一种多晶硅铸锭炉的顶部加热器及顶部保温板除尘装置,其特征在于:所述进气管外接有电磁阀/或球阀。
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