[实用新型]俄歇电子能谱分析设备有效
| 申请号： | 201320094039.5 | 申请日： | 2013-03-01 |
| 公开（公告）号： | CN203133001U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 文智慧;高保林;王倩;李日鑫 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | G01N23/227 | 分类号： | G01N23/227 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 电子 谱分析 设备 | ||
【权利要求书】：
1.一种俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，包括：真空腔室、电子枪、能量分析器、导电探针及探针控制器；
所述电子枪设置于真空腔室的内部，能量分析器与真空腔室连接；
所述导电探针设置于真空腔室的内部；
所述探针控制器设置于真空腔室的外部，并与所述导电探针连接。
2.如权利要求1所述的俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，所述导电探针连接一固定电位。
3.如权利要求2所述的俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，所述导电探针接地。
4.如权利要求1所述的俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，所述导电探针由金属或合金制成。
5.如权利要求4所述的俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，所述金属是钨。
6.如权利要求4所述的俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，所述金属是铂金。
7.如权利要求1至6中任一项所述的俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，所述导电探针为纳米探针。
8.如权利要求1至6中任一项所述的俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，所述导电探针为微米探针。
9.如权利要求1所述的俄歇电子能谱分析设备，其特征在于，所述能量分析器包括探头和分析主机；
所述探头设置于真空腔室的内部，并与分析主机连接。
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