[实用新型]一种维持隔膜压缩机压力平衡系统有效
| 申请号： | 201320104316.6 | 申请日： | 2013-03-07 |
| 公开（公告）号： | CN203223368U | 公开（公告）日： | 2013-10-02 |
| 发明（设计）人： | 朱宝毅;邓新贵;李俊;陈惟勤;刘芳 | 申请（专利权）人： | 江西景德半导体新材料有限公司 |
| 主分类号： | F04B49/08 | 分类号： | F04B49/08 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 333000 江*** | 国省代码： | 江西;36 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 维持 隔膜 压缩机 压力 平衡 系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种维持隔膜压缩机压力平衡系统，包括压缩机前缓冲罐（1）、压缩机后缓冲罐（2）、压缩机（3）、低压工艺气体导入管道（4）、高压工艺气体补充管道（5）、工艺气体导出管道（6）、工艺气体压力平衡连接管道（10），所述压缩机前缓冲罐（1）与压缩机（3）通过管道相连，压缩机（3）与压缩机后缓冲罐（2）通过管道相连，压缩机前缓冲罐（1）与压缩机后缓冲罐（2）通过工艺气体压力平衡连接管道（10）相连，所述压缩机前缓冲罐（1）上设置有低压工艺气体导入管道（4），所述压缩机后缓冲罐（2）上设置有高压工艺气体补充管道（5）和工艺气体导出管道（6），其特征在于：所述工艺气体压力平衡连接管道（10）上设置有阀门（9）和自动调节阀（7），所述阀门（9）和自动调节阀（7）之间设置有惰性气体导入管道（8）。
2.根据权利要求1所述的一种维持隔膜压缩机压力平衡系统，其特征在于：所述低压工艺气体的压强为0.07-0.15Mpa。
3.根据权利要求1所述的一种维持隔膜压缩机压力平衡系统，其特征在于：所述高压工艺气体的压强为0.5-0.65Mpa。
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