[实用新型]一种维持隔膜压缩机压力平衡系统

说明书

技术领域

本实用新型涉及隔膜压缩机设备技术领域，特别是一种维持隔膜压缩机压力平衡系统。。

背景技术

压缩机系统是一个连续的、平衡的动态系统，因无法保证外系统对其连续的供给气源，压缩机都自带了平衡系统，用于稳定自身的平衡。但是当自身平衡启用后，压缩机后缓冲罐需要用外来工艺气体进行补充，该外来工艺气体会带有微量的杂质，不宜与压缩机前缓冲罐的气体混合，因为混合后会产生固体杂质，对压缩机的膜片造成损伤。因此在本工艺技术条件的限制下，目前压缩机自身平衡系统不适合大生产使用。

发明内容

为了解决现有技术中维持隔膜压缩机压力平衡系统所存在的缺陷和问题，本实用新型提供一种结构简单、使用方便的一种维持隔膜压缩机压力平衡系统。

为解决上述技术问题本实用新型的技术方案为：一种维持隔膜压缩机压力平衡系统，包括压缩机前缓冲罐、压缩机后缓冲罐、压缩机、低压工艺气体导入管道、高压工艺气体补充管道、工艺气体导出管道、工艺气体压力平衡连接管道，所述压缩机前缓冲罐与压缩机通过管道相连，压缩机与压缩机后缓冲罐通过管道相连，压缩机前缓冲罐与压缩机后缓冲罐通过工艺气体压力平衡连接管道相连，所述压缩机前缓冲罐上设置有低压工艺气体导入管道，所述压缩机后缓冲罐上设置有高压工艺气体补充管道和工艺气体导出管道，其特征在于：所述工艺气体压力平衡连接管道上设置有阀门和自动调节阀，所述阀门和自动调节阀之间设置有惰性气体导入管道。

所述低压工艺气体的压强为0.07-0.15Mpa。

所述高压工艺气体的压强为0.5-0.65Mpa。

本实用新型的有益效果是：本实用新型利用补充惰性气体的方法，避免开启压缩机自身平衡系统，既保证了系统的输出，又防止了因补充高压工艺气体携带微量杂质，而导致压缩机的膜片损坏的情况发生，本一种维持隔膜压缩机压力平衡系统结构简单、使用方便、改造成本低，在多晶硅行业具有广泛的应用空间。

附图说明

图1本实用新型维持隔膜压缩机压力平衡系统的结构示意图。

图中：1、压缩机前缓冲罐，2、压缩机后缓冲罐，3、压缩机，4、低压工艺气体导入管道，5、高压工艺气体补充管道，6、工艺气体导出管道，7、自动调节阀，8、惰性气体导入管道，9、阀门，10、工艺气体压力平衡连接管道。

具体实施方式

如图1所示，一种维持隔膜压缩机压力平衡系统，包括压缩机前缓冲罐1、压缩机后缓冲罐2、压缩机3、低压工艺气体导入管道4、高压工艺气体补充管道5、工艺气体导出管道6、工艺气体压力平衡连接管道10，所述压缩机前缓冲罐1与压缩机3通过管道相连，压缩机3与压缩机后缓冲罐2通过管道相连，压缩机前缓冲罐1与压缩机后缓冲罐2通过工艺气体压力平衡连接管道10相连，所述压缩机前缓冲罐1上设置有低压工艺气体导入管道4，所述压缩机后缓冲罐2上设置有高压工艺气体补充管道5和工艺气体导出管道6，所述工艺气体压力平衡连接管道10上设置有阀门9和自动调节阀7，所述阀门9和自动调节阀7之间设置有惰性气体导入管道8。

所述低压工艺气体的压强为0.1Mpa。

所述高压工艺气体的压强为0.55Mpa。

本实用新型维持隔膜压缩机压力平衡系统的使用方法为：在压缩机后缓冲罐2与压缩机前缓冲罐1的工艺气体压力平衡连接管道10上，加装一根惰性气体导入管道8，同时关闭靠近压缩机后缓冲罐2的阀门9，再利用自动调节阀7，设定一定的压力，当工艺气体供给不足，压力低于设定值时，自动调节阀7自动开启，给压缩机前缓冲罐1补充惰性气体，以保证系统的平衡。

以上所述，仅为本实用新型较佳的具体实施方式，但本实用新型保护范围并不局限于此，根据本实用新型的技术方案及其发明构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本实用新型的保护范围之内。