[实用新型]用于真空镀膜机的真空插板阀有效
| 申请号： | 201320104708.2 | 申请日： | 2013-03-06 |
| 公开（公告）号： | CN203238322U | 公开（公告）日： | 2013-10-16 |
| 发明（设计）人： | 黄玉春 | 申请（专利权）人： | 黄玉春 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 湖北省保*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 用于 真空镀膜 真空 插板 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于真空镀膜机的真空插板阀，包括阀体，所述的阀体内部设置插板阀机构，该插板阀机构包括设置于阀体一内侧壁的阀板，设置于阀板上的至少两个导向轮和松门挡板，设置于阀板下方的用于支撑阀板及压紧或松开阀板的偏心轴、分别安装于阀板上的密封圈以及阀板推拉机构。
2.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空插板阀，其特征在于：阀体内可以双向放置有用于实现插板阀的双向密封的至少两套插板阀机构。
3.根据权利要求1所述的用于真空镀膜机的真空插板阀，其特征在于：所述导向轮的两侧分别设置有向内凹的凹槽。
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