[实用新型]一种线性蒸镀源喷嘴有效
| 申请号： | 201320109809.9 | 申请日： | 2013-03-11 |
| 公开（公告）号： | CN203128644U | 公开（公告）日： | 2013-08-14 |
| 发明（设计）人： | 纪小红 | 申请（专利权）人： | 陕西科技大学 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 蔡和平 |
| 地址： | 710021 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 线性 蒸镀源 喷嘴 | ||
【权利要求书】：
1.一种线性蒸镀源喷嘴，其特征在于，包括喷射罩（1）和设置在喷射罩（1）上的喷射板，所述喷射板的纵长方向上开设有喷射口（2），喷射口（2）上设置有遮挡片（3）。
2.根据权利要求1所述的一种线性蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述喷射口（2）的形状为矩形。
3.根据权利要求2所述的一种线性蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述喷射口（2）的宽度为0.5～1.5cm。
4.根据权利要求2所述的一种线性蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述遮挡片（3）的长度占整个喷射口（2）长度的1/6。
5.根据权利要求4所述的一种线性蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述遮挡片（3）距离喷射板左端8～15cm。
6.根据权利要求1所述的一种线性蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述喷射罩（1）为梯形体。
7.根据权利要求1所述的一种线性蒸镀源喷嘴，其特征在于，所述喷射板采用金属板或石英玻璃。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于陕西科技大学，未经陕西科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201320109809.9/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
