[实用新型]一种用于制造有机发光显示器的掩模板有效
申请号: | 201320124957.8 | 申请日: | 2013-03-19 |
公开(公告)号: | CN203320115U | 公开(公告)日: | 2013-12-04 |
发明(设计)人: | 魏志凌 | 申请(专利权)人: | 昆山允升吉光电科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/04 | 分类号: | C23C14/04;H01L51/56;H05B33/10 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215300 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 制造 有机 发光 显示器 模板 | ||
1.一种用于制造有机发光显示器的掩模板,其包括平面板及形成在平面板上的开口,其特征在于:所述开口按预设的位置排列,所述开口内壁在任意一个垂直于所述平面板上下平面的截面上形成平滑过渡曲线,所述平滑过渡曲线与所述平面板上下平面为非垂直结构且与所述平面板上下平面形成的图形为蒸镀源一侧开口大、另一侧开口小的结构,所述平滑过渡曲线的所有曲线的曲率中心位于所述开口一侧。
2.根据权利要求1所述的用于制造有机发光显示器的掩模板,其特征在于,所述平滑过渡曲线为直线。
3.根据权利要求1或权利要求2所述的用于制造有机发光显示器的掩模板,其特征在于,所述开口在所述平面板上下平面上的形成的按图案形状为矩形或圆形。
4.根据权利要求3所述的用于制造有机发光显示器的掩模板,其特征在于,所述矩形为倒有圆角/倒角的矩形。
5.根据权利要求1或权利要求2所述的用于制造有机发光显示器的掩模板,其特征在于,所述开口构成的图案与基板上相应的像素点位置相适应。
6.根据权利要求1或权利要求2所述的用于制造有机发光显示器的掩模板,其特征在于,所述过渡平滑曲线与所述平面板所在的平面方向所呈的切线夹角范围α为20°~70°。
7.根据权利要求6所述的用于制造有机发光显示器的掩模板,其特征在于,所述过渡平滑曲线与所述平面板所在的平面方向所呈的切线夹角范围α为30°~60°。
8.根据权利要求7所述的用于制造有机发光显示器的掩模板,其特征在于,所述过渡平滑曲线与所述平面板所在的平面方向所呈的切线夹角范围α为40°~50°。
9.根据权利要求8所述的用于制造有机发光显示器的掩模板,其特征在于,所述过渡平滑曲线与所述平面板所在的平面方向所呈的切线夹角范围α为45°。
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