[实用新型]磷烷气体提纯装置有效
| 申请号： | 201320138833.5 | 申请日： | 2013-03-25 |
| 公开（公告）号： | CN203247098U | 公开（公告）日： | 2013-10-23 |
| 发明（设计）人： | 魏明存 | 申请（专利权）人： | 珠海欣宏电子化学材料有限公司 |
| 主分类号： | C01B25/06 | 分类号： | C01B25/06 |
| 代理公司： | 广东秉德律师事务所 44291 | 代理人： | 闫有幸;杨焕军 |
| 地址： | 519000 广东省珠*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 气体 提纯 装置 | ||
【权利要求书】：
1.一种磷烷气体提纯装置，其特征在于：包括初级吸附器（1）、化学吸附反应器（2）及三级吸附器（3），所述初级吸附器（1）、化学吸附反应器（2）及三级吸附器（3）通过管道依次相连通，并分别与杂质排出管道（18）相连通，所述化学吸附反应器（2）及三级吸附器（3）分别与吹洗管道（19）相连通，所述初级吸附器（1）连接有粗品磷烷输入管道（16），所述三级吸附器（3）连接有纯净磷烷输出管道（17）。
2.如权利要求1所述的磷烷气体提纯装置，其特征在于：所述初级吸附器（1）与化学吸附反应器（2）之间串接有隔膜阀（4），所述化学吸附反应器（2）与三级吸附器（3）之间串接有隔膜阀（5、6）。
3.如权利要求1或2所述的磷烷气体提纯装置，其特征在于：所述初级吸附器（1）、化学吸附反应器（2）及三级吸附器（3）分别连接有加热器（7、8、9）。
4.如权利要求1或2所述的磷烷气体提纯装置，其特征在于：所述三级吸附器（3）的输出口连接有过滤器（15）。
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