[实用新型]磷烷气体提纯装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及气体提纯技术领域，具体涉及一种磷烷气体提纯装置。

背景技术

高纯度电子气体在电子信息产品、航空航天、高效太阳能电池、军事工业等领域具有广泛的应用。目前有能力生产5.5N级以上高纯度电子气体的只有少数几个国家。磷烷作为一种电子气体，目前的提纯工艺为包括低温真空分离、吸附干燥、精馏和催化剂（镓-铟合金、镍催化剂）深吸附等步骤。例如，中国专利文献CN102398898A公开了上述工艺步骤。但是，该工艺步骤由于采用吸附催化剂进行吸附，催化剂吸附寿命短，磷烷气体产量低，生产成本高。

实用新型内容

本实用新型目的在于提供一种提纯的磷烷气体达5.5N级以上纯度且产量高、生产成本低的磷烷气体提纯装置。

上述目的通过以下技术方案实现：

一种磷烷气体提纯装置，其特征在于：包括初级吸附器、化学吸附反应器及三级吸附器，所述初级吸附器、化学吸附反应器及三级吸附器通过管道依次相连通，并分别与杂质排出管道相连通，所述化学吸附反应器及三级吸附器分别与吹洗管道相连通，所述初级吸附器连接有粗品磷烷输入管道，所述三级吸附器连接有纯净磷烷输出管道。

作为具体的技术方案，所述初级吸附器与化学吸附反应器之间串接有隔膜阀，所述化学吸附反应器与三级吸附器之间串接有隔膜阀。

作为具体的技术方案，所述初级吸附器、化学吸附反应器及三级吸附器分别连接有加热器。

作为具体的技术方案，所述三级吸附器的输出口连接有过滤器。

本实用新型提供的磷烷气体提纯装置的有益效果在于：由于采用三级吸附器进行三级净化，使提纯的磷烷气体达5.5N级以上纯度，且本装置产量高、生产成本低。

附图说明

图1为本实用新型提供的磷烷气体提纯装置的示意图。

具体实施方式

如图1所示，本实用新型实施例提供的磷烷气体提纯装置包括初级吸附器1、化学吸附反应器2及三级吸附器3。

继续参看图1，初级吸附器1外表面包覆有电加热器7，电加热器7设有两个温度传感器10、11。初级吸附器1的输入口连接有粗品磷烷输入管道16，粗品磷烷通过该管道进入初级吸附器1，初级吸附器1内设有吸附剂(图中未示出)，粗品磷烷在初级吸附器1完成初级净化，初步去除不相干杂质后的初级净化磷烷从初级吸附器1的输出口输出。初级吸附器1的输出口与化学吸附反应器2的输入口通过管道相连通，管道中间串接有隔膜阀4。

化学吸附反应器2的下端连接有电加热器8，电加热器8设有温度传感器12。初级净化磷烷经由管道从化学吸附反应器2的输入口进入化学吸附反应器2内，化学吸附反应器2内设有化学吸附剂(图中未示出)，初级净化磷烷在化学吸附反应器2内通过化学反应完成二级净化，去除氧气、水、硫化氢等杂质后的二级净化磷烷从化学吸附反应器2的输出口输出。化学吸附反应器2的输出口与三级吸附器3的输入口通过管道相连通，管道中间串接有隔膜阀5、6，并设有压力表20。

三级吸附器3外表面包覆有电加热器9，电加热器9设有两个温度传感器13、14。二级净化磷烷经由管道从三级吸附器3的输入口进入三级吸附器3内，三级吸附器3内设有吸附剂(图中未示出)，二级净化磷烷在三级吸附器3内完成三级净化，将磷烷进一步提纯至99.9995%（质量百分比）。三级吸附器3的输出口通过过滤器15连接纯净磷烷输出管道17，经三级净化后的纯净磷烷经由三级吸附器3的输出口及过滤器15从该管道输出。

初级吸附器1、化学吸附反应器2及三级吸附器3各自的输出管道分别与杂质排出管道18相连通，并由相应的隔膜阀控制通、断。化学吸附反应器2及三级吸附器3各自的输出管道分别与吹洗管道19相连通，并由相应的隔膜阀控制通、断。初级吸附器1及三级吸附器3设有冷却水流通管道，并由相应的管道阀控制通、断。本实用新型的提纯装置的提纯过程在常温条件下进行，电加热器7及电加热器9只是在进行规程操作时使用。

本实用新型不局限于上述实施例，基于上述实施例的、未做出创造性劳动的简单替换，应当属于本实用新型揭露的范围。