[实用新型]真空镀膜室用的视镜机构有效
申请号: | 201320142588.5 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN203212638U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/52 | 分类号: | C23C14/52 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 真空镀膜 机构 | ||
1.真空镀膜室用的视镜机构,其特征在于,视镜腔内设有挡板组件,挡板组件包括挡板、挡板轴和挡板座,挡板轴通过挡板座固定于视镜腔内,挡板设于挡板轴的输出末端,挡板轴上还设有多个与挡板并列设置的隔热板,任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷垫圈,隔热板与挡板之间也设有陶瓷垫圈。
2.根据权利要求1所述真空镀膜室用的视镜机构,其特征在于,所述挡板座的轴向截面为E形结构,挡板座设于挡板轴的中部,挡板轴穿过挡板座的中心,挡板座的外侧面与视镜腔的腔壁相接。
3.根据权利要求2所述真空镀膜室用的视镜机构,其特征在于,所述挡板轴穿过各个隔热板中心,多个隔热板设于挡板座与挡板之间。
4.根据权利要求1所述真空镀膜室用的视镜机构,其特征在于,所述隔热板有4个,各隔热板的直径与挡板的直径相等。
5.根据权利要求1所述真空镀膜室用的视镜机构,其特征在于,所述挡板和隔热板上均开有通孔,挡板和隔热板上的各通孔同轴设置。
6.根据权利要求1所述真空镀膜室用的视镜机构,其特征在于,所述视镜腔是开在真空镀膜室的容器壁上用于安装视镜玻璃的腔体结构;视镜腔的外端面设有焊接座,焊接座的外侧面设有视镜压盖,焊接座与视镜腔的连接处嵌有遮挡玻璃和遮挡玻璃挡圈,焊接座与视镜压盖的连接处嵌有视镜玻璃。
7.根据权利要求6所述真空镀膜室用的视镜机构,其特征在于,所述挡板轴的输入端设有锥齿轮,锥齿轮通过齿轮轴连接调节轮,齿轮轴穿过真空镀膜室的容器壁并通过输入座固定于容器壁上。
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