[实用新型]真空镀膜室用的视镜机构

说明书

技术领域

本实用新型涉及玻璃镀膜设备领域，特别涉及一种真空镀膜室用的视镜机构。

背景技术

视镜机构是用于观察真空镀膜室内工作情况的常用部件，视镜机构使用时，用户可通过视镜玻璃直接观察真空镀膜室内的状况，但由于工件镀膜时弧源的溅射，当视镜玻璃及遮挡玻璃直接暴露在其视镜腔内时，弧源容易对视镜玻璃及遮挡玻璃造成污染，影响视镜机构的正常使用。另外，由于工件镀膜时真空镀膜室内的温度较高，也容易影响视镜玻璃的性能。因此，在实际应用中，目前的视镜机构并不能很好地应用于较高温度的玻璃镀膜工艺。

实用新型内容

本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，针对较小型的真空镀膜室，提供一种真空镀膜室用的视镜机构，该视镜机构不仅能较好地减少弧源对视镜玻璃的污染，也能有效降低视镜玻璃所承受的温度，保障其性能。

本实用新型的技术方案为：一种真空镀膜室用的视镜机构，视镜腔内设有挡板组件，挡板组件包括挡板、挡板轴和挡板座，挡板轴通过挡板座固定于视镜腔内，挡板设于挡板轴的输出末端，挡板轴上还设有多个与挡板并列设置的隔热板，任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷垫圈，隔热板与挡板之间也设有陶瓷垫圈。其中，挡板组件用于遮挡弧源的溅射，防止其污染视镜玻璃，隔热板和陶瓷垫圈可有效降低视镜玻璃所承受的温度。

所述挡板座的轴向截面为E形结构，挡板座设于挡板轴的中部，挡板轴穿过挡板座的中心，挡板座的外侧面与视镜腔的腔壁相接。

所述挡板轴穿过各个隔热板中心，多个隔热板设于挡板座与挡板之间。

作为一种优选方案，所述隔热板有4个，各隔热板的直径与挡板的直径相等。

所述挡板和隔热板上均开有通孔，挡板和隔热板上的各通孔同轴设置，可避免视镜玻璃大面积暴露于镀膜空间内，减少弧源对视镜玻璃的污染。

所述视镜腔是开在真空镀膜室的容器壁上用于安装视镜玻璃的腔体结构；视镜腔的外端面设有焊接座，焊接座的外侧面设有视镜压盖，焊接座与视镜腔的连接处嵌有遮挡玻璃和遮挡玻璃挡圈，焊接座与视镜压盖的连接处嵌有视镜玻璃。

所述挡板轴的输入端设有锥齿轮，锥齿轮通过齿轮轴连接调节轮，齿轮轴穿过真空镀膜室的容器壁并通过输入座固定于容器壁上。用户可通过调节轮调节挡板和隔热板上通孔所处的位置，从而调整视镜机构的观察位置。

本真空镀膜室用的视镜机构使用时，其原理是：玻璃工件在真空镀膜室内进行镀膜时，挡板遮挡弧源的溅射，减少了弧源对视镜玻璃的污染，隔热板和陶瓷垫圈起到隔热的作用，减少真空镀膜室对视镜玻璃的热传递；视镜机构使用时，调整其调节轮，通过齿轮轴和锥齿轮的传动，可带动挡板轴转动，调整挡板和隔热板上通孔的位置，从而改变视镜玻璃上的观察位置，避免视镜玻璃大面积暴露于镀膜空间内。

本实用新型相对于现有技术，具有以下有益效果：

本真空镀膜室用的视镜机构结构简单，通过在视镜腔内设置带有隔热板的挡板组件，通过挡板组件减少弧源对视镜玻璃的污染，通过隔热板和陶瓷垫圈降低视镜玻璃所承受的温度，从而较好地保障视镜玻璃的性能，视镜机构也可应用于更高工作温度（高达500～800℃）的真空镀膜室。

另外，本真空镀膜室用的视镜机构中，在各个隔热板和挡板上分别设置通孔，同时通过调节轮可根据实际需要调节通孔的位置，从而避免视镜玻璃大面积暴露于镀膜空间内，有效减少弧源对视镜玻璃的污染。

本真空镀膜室用的视镜机构使用时，挡板及隔热板可整体组装，方便清洗拆卸，使用也方便；同时，更换视镜玻璃的材质时，该视镜机构可使用于电子枪观察窗或防辐射视镜，其使用范围较广。

本真空镀膜室用的视镜机构特别适用于小型容器或温度较高、观察范围较小的真空镀膜室。

附图说明

图1为本真空镀膜室用的视镜机构的结构示意图。

图2为图1的A方向视图。

具体实施方式

下面结合实施例及附图，对本实用新型作进一步的详细说明，但本实用新型的实施方式不限于此。

实施例

本实施例一种真空镀膜室用的视镜机构，其结构如图1或图2所示，视镜腔1内设有挡板组件，挡板组件包括挡板2、挡板轴3和挡板座4，挡板轴3通过挡板座4固定于视镜腔1内，挡板设于挡板轴的输出末端，挡板轴上还设有多个与挡板2并列设置的隔热板5，任意相邻的两个隔热板之间设有陶瓷垫圈6，隔热板与挡板之间也设有陶瓷垫圈6。其中，挡板组件用于遮挡弧源的溅射，防止其污染视镜玻璃7，隔热板5和陶瓷垫圈6可有效降低视镜玻璃所承受的温度。