[实用新型]光学镀膜机工件盘用的安装托举机构有效
申请号: | 201320142604.0 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN203212634U | 公开(公告)日: | 2013-09-25 |
发明(设计)人: | 朱刚劲;朱刚毅;朱文廓 | 申请(专利权)人: | 肇庆市腾胜真空技术工程有限公司 |
主分类号: | C23C14/50 | 分类号: | C23C14/50 |
代理公司: | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人: | 裘晖 |
地址: | 526060 广*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光学 镀膜 机工 件盘用 安装 托举 机构 | ||
1.光学镀膜机工件盘用的安装托举机构,其特征在于,包括工件盘定位管、摆臂、上下活动杆和活动杆驱动组件,上下活动杆设于光学镀膜机的镀膜室外壁上,上下活动杆一端与活动杆驱动组件连接,摆臂一端与上下活动杆铰接,摆臂另一端与工件盘定位管固定连接,工件盘设于工件盘定位管上。
2.根据权利要求1所述光学镀膜机工件盘用的安装托举机构,其特征在于,所述摆臂通过铰接座与上下活动杆连接,铰接座固定于上下活动杆上,摆臂与铰接座连接,摆臂与上下活动杆相互垂直设置。
3.根据权利要求1所述光学镀膜机工件盘用的安装托举机构,其特征在于,所述光学镀膜机的镀膜室外壁上设有固定支架,固定支架末端设置活动套,上下活动杆设于活动套内。
4.根据权利要求3所述光学镀膜机工件盘用的安装托举机构,其特征在于,所述固定支架和活动套有两组,分别设于固定上下活动杆的两端,上下活动杆上下活动于两个活动套内。
5.根据权利要求1所述光学镀膜机工件盘用的安装托举机构,其特征在于,所述工件盘定位管与摆臂相互垂直设置,工件盘定位管底端与摆臂固定连接,工件盘定位管顶端安装工件盘。
6.根据权利要求1所述光学镀膜机工件盘用的安装托举机构,其特征在于,所述活动杆驱动组件包括葫芦挂架和固定座,固定座固定于光学镀膜机的镀膜室顶部,葫芦挂架通过固定座设于光学镀膜机的镀膜室外壁,葫芦挂架底部设置挂钩,挂钩通过悬挂件与上下活动杆顶部固定连接。
7.根据权利要求1所述光学镀膜机工件盘用的安装托举机构,其特征在于,所述摆臂的摆动角度为0~180°。
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