[实用新型]排液槽装置有效
| 申请号： | 201320145742.4 | 申请日： | 2013-03-27 |
| 公开（公告）号： | CN203173802U | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 张文武;杨群;太双;刁春华;周鹏 | 申请（专利权）人： | 中芯国际集成电路制造（北京）有限公司 |
| 主分类号： | B67D7/02 | 分类号： | B67D7/02;B67D7/78 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 排液槽 装置 | ||
1.一种排液槽装置，其特征在于，包括：
排液槽；
进液管，与所述排液槽连接；
排液泵；
第一排液管，一端与所述排液泵连接，另一端伸入所述排液槽中；
第二排液管，与所述排液泵连接；
处理器，与所述排液泵连接；
排气管，一端与所述排液槽连接，另一端与所述第二排液管连接；以及
排气阀，设置在所述排气管上。
2.如权利要求1所述的排液槽装置，其特征在于，所述排液槽装置还包括设置在所述第一排液管上的第一手动阀。
3.如权利要求1所述的排液槽装置，其特征在于，所述排液槽装置还包括设置在所述第二排液管上的第二手动阀。
4.如权利要求1所述的排液槽装置，其特征在于，所述排液槽装置还包括与所述排液槽连接的通气管。
5.如权利要求1所述的排液槽装置，其特征在于，所述排液槽装置还包括至少一个传感器，所述传感器设置在所述排液槽内并与所述处理器连接。
6.如权利要求5所述的排液槽装置，其特征在于，所述传感器为两个。
7.如权利要求6所述的排液槽装置，其特征在于，其中一个传感器为高位传感器，设置在所述排液槽侧壁高度的中点处；另外一个传感器为低位传感器，设置在低于所述高位传感器水平位置的所述排液槽内。
8.如权利要求7所述的排液槽装置，其特征在于，所述第一排液管伸入所述排液槽内的位置低于所述低位传感器的水平高度。
9.如权利要求1所述的排液槽装置，其特征在于，所述排气阀为气动阀，并与所述处理器连接。
10.如权利要求1所述的排液槽装置，其特征在于，所述排气阀为电磁阀，并与所述处理器连接。
11.如权利要求1所述的排液槽装置，其特征在于，所述排气阀为手动阀。
12.如权利要求1所述的排液槽装置，其特征在于，所述排气管的长度小于10米。
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