[实用新型]排液槽装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及集成电路制造领域，尤其涉及一种排液槽装置。

背景技术

在半导体集成电路制造工艺中，通常需要用到大量的化学物品来满足生产需要。对于使用过的化学物品的安全排放，在各个场区都会设计地沟和废液排放系统。在化学物品被使用过后产生的废液将通过若干管道排放至排液槽中，接着由与排液槽连接的排液泵将废液泵至废液处理系统中，进而完成废液的处理。

请参考图1，现有技术中的排液槽装置包括：排液槽10、进液管20、低位传感器32、高位传感器31、排液泵60以及处理器40；进液管20与所述排液槽10连接；所述低位传感器32安装靠近所述排液槽10的底部，所述高位传感器31安装在所述排液槽10高度的中点处；所述排液泵60通过第一排液管51与所述排液槽10连接，所述排液泵60通过第二排液管52与废液处理系统（图未示）连接；所述处理器40与所述低位传感器32以及高位传感器31通过信号线33连接，所述处理器40与所述排液泵60通过指令信号线61连接。

在使用的过程中，化学物品被使用过后产生的废液将通过进液管20排放至排液槽10中，当排液槽10中的废液在液位高于或等于所述高位传感器31时，所述处理器40将得到来自所述高位传感器31的信号，所述处理器40将通过所述指令信号线61启动所述排液泵60，从而对所述排液槽10进行抽液，并将排液槽10中的废液通过第一排液管51与第二排液管52排送至所述废液处理系统中进行处理。

然而，在实际使用过程中，由于所述进液管20往所述排液槽10中排放废液多数为酸性液体并且易挥发，在所述排液泵60停止排废液时，废液挥发出的气体进入所述第一排液管51，并通过所述第一排液管51进入所述排液泵60中，从而在所述排液泵60进行重新启动时会出现空打现象，容易造成所述排液泵60发生故障，减少所述排液泵60的使用寿命。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种排液槽装置，用于排出排液泵中过量的气体，增加排液泵的使用寿命。

为了实现上述目的，本实用新型提出一种排液槽装置，包括：

排液槽；

进液管，与所述排液槽连接；

排液泵；

第一排液管，一端与所述排液泵连接，另一端伸入所述排液槽中；

第二排液管，与所述排液泵连接；

处理器，与所述排液泵连接；

排气管，一端与所述排液槽连接，另一端与所述第二排液管连接；以及

排气阀，设置在所述排气管上。

进一步的，所述排液槽装置还包括设置在所述第一排液管上的第一手动阀。

进一步的，所述排液槽装置还包括设置在所述第二排液管上的第二手动阀。

进一步的，所述排液槽装置还包括与所述排液槽连接的通气管。

进一步的，所述排液槽装置还包括至少一个传感器，所述传感器设置在所述排液槽内并与所述处理器连接。

进一步的，所述传感器为两个。

进一步的，其中一个传感器为高位传感器，设置在所述排液槽侧壁高度的中点处；另外一个传感器为低位传感器，设置在低于所述高位传感器水平位置的所述排液槽内。

进一步的，所述第一排液管伸入所述排液槽内的位置低于所述低位传感器的水平高度。

进一步的，所述排气阀为气动阀，并与所述处理器连接。

进一步的，所述排气阀为电磁阀，并与所述处理器连接。

进一步的，所述排气阀为手动阀。

进一步的，所述排气管的长度小于10米。

与现有技术相比，本实用新型添加了排气管，所述排气管一端与排液槽连接，另一端与第二排液管连接，通过所述排气管将残留在所述第一排液管与排液泵中过量的气体排入至所述排液槽中，从而可以避免过量的气体进入所述排液泵中造成所述排液泵长时间的空打，降低所述排液泵由空打产生故障的几率，增加所述排液泵的使用寿命，进而节约生产成本。

附图说明

图1为现有技术中排液槽装置的结构示意图；

图2为本实用新型一实施例中排液槽装置的结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本实用新型提出的排液槽装置作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本实用新型的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本实用新型实施例的目的。