[实用新型]电镀装置

权利要求书

1.一种电镀装置，适于对一基板进行电镀，其特征在于，该电镀装置包括：

电镀槽；

阴极，配置于该电镀槽内，而该基板连接该阴极；

两阳极，配置于该电镀槽内，该基板位于该两阳极之间，并且具有分别面向该两阳极的相对两待镀面；以及

两遮蔽件，配置于该电镀槽内并且位于该两阳极之间，该两遮蔽件分别邻近该基板的相对两侧边，并且相对于该两阳极，分别遮蔽但不接触该基板的该两待镀面的外围区域。

2.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，各该遮蔽件包括相互分离的两部分，该两部分分别位在该两阳极与该阴极之间，以遮蔽该两待镀面的外围区域。

3.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，各该遮蔽件为无狭缝连接，并且具有一第一凹槽，该基板的该相对两侧边分别插入相应的该些第一凹槽。

4.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，该两遮蔽件所遮蔽的该两待镀面的外围区域的宽度为0.5至1厘米。

5.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，该电镀装置还包括：

多个支撑件，设置于该电镀槽内并分别位在该两阳极与该阴极之间，该两遮蔽件分别具有对应于该些支撑件的多个第二凹槽，且各该支撑件的相对两端分别插入相应的该些第二凹槽。

6.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，该电镀装置还包括：

多个喷洒模块，设置于该电镀槽内并分别位在该两阳极与该阴极之间，该两遮蔽件分别具有对应于该些喷洒模块的多个第三凹槽，且各该喷洒模块的相对两端分别插入相应的该些第三凹槽。

7.如权利要求1所述的电镀装置，其特征在于，各该遮蔽件分别具有多个排水孔。