[实用新型]结晶化调制元件

权利要求书

1.一种结晶化调制元件，包括一种光调制光学系统，具有第一元件的入射光束，其特征是：该系统提供的光调制的光学系统具有多晶半导体膜和非晶质半导体膜之间的基板，所述入射光束的光强度梯度分布和光强度的最低分配形成被施加到多晶半导体膜，通过图像形成光学系统的非晶质半导体膜，连接相位调制元件包括：图案形成最低逆峰形分布的入射光束的光强度。

2.根据权利要求1所述的结晶化调制元件，其特征是：基板中具有多种细长区域，具有不同的相位值，在彼此相邻的两个细长区域中具有基本相同的值，得到的光速图案形成一个V形的入射光束的光强度分布。

3.根据权利要求1所述的结晶化调制元件，其特征是：所述相位调制元件具有第一区域，其最小尺寸比预定尺寸小，并具有第一相位值和具有第二相位值的第二区域，取决于位置的相位分布，并且图案具有线性区域，在对应的部分的底部具有远离的V字状的光强度分布构成的隔离区。