[实用新型]一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统有效
| 申请号： | 201320162035.6 | 申请日： | 2013-04-02 |
| 公开（公告）号： | CN203197750U | 公开（公告）日： | 2013-09-18 |
| 发明（设计）人： | 易小顺;方建雄;李呼相;吴鲁;隆仁伟 | 申请（专利权）人： | 苏州海铂晶体有限公司 |
| 主分类号： | B24B57/00 | 分类号： | B24B57/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 李凤娇 |
| 地址： | 215437 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 用于 蓝宝石 领域 cmp 抛光 外部 循环系统 | ||
【权利要求书】：
1.一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，包括抛光液管道（1），所述抛光液管道（1）与抛光液桶连通，所述抛光液管道（1）上依次设置推进泵A（2）、粗过滤装置（3）、细过滤装置（4）及推进泵B（5），其特征在于：所述推进泵B（5）与三通阀（6）连接，三通阀（6）的端口A（7）与CMP设备连接，三通阀（6）的端口B（9）与抛光液桶连通，三通阀（6）的端口A（7）上设有第一阀门（8），三通阀（6）的端口B（9）上设有第二阀门（10）。
2.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，其特征在于：所述粗过滤装置（3）的滤芯孔径为10um-30um，所述细过滤装置（4）的滤芯孔径为1um-10um。
3.根据权利要求1所述的一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，其特征在于：所述抛光液管道（1）采用PVC管道，内径为15mm-40mm，管壁厚度为4mm-8mm。
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